1.本实用新型涉及硬轴单晶炉领域,尤其是涉及一种适用于硬轴单晶炉内置加
料器的转移工装。
背景技术:
2.随着科技不断进步,对单晶材料的品质要求也越来越高。硬轴单晶炉不存在软轴单晶炉软轴系统类似于单摆和弹簧振子容易产生固有共振干扰的结构特点,在提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质方面相对软轴系统更有优势。但是硬轴系统结构相对复杂,为保证高位置精度,籽晶硬轴固定到炉机架上,因此当籽晶硬轴下降到副炉室内时是不允许副炉室移动的。同时单晶炉的内置加料器是一个长度大于1.5米,装料后重量大于150kg的、易损坏的石英玻璃圆柱体,因此将装料的内置加料器放置入固定的副炉室内是困难的,给硬轴单晶炉加料过程带来不便。
3.现有的转移工装主要为包裹式工装,由于内置加料器长度较大、体积较大,所以现有的转移装置体积较大,使用不方便。
4.料管悬挂起来时,由于惯性作用下,料管会出现类似单摆的运动。而料管是易碎的石英玻璃,在转移过程中料管容易撞到周围物体。
技术实现要素:
5.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
6.为此,本实用新型在于提出一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,
所述转移工装,包括:
7.承托
机构,用于承托内置加料器的接头,所述承托机构与所述主体支架沿上下方向滑移配合,所述承托机构包括托板和挂接母座,所述托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一,所述托板左右两端与所述主体支架沿上下方向滑移配合,所述托板上可拆卸固定所述挂接母座,所述挂接母座呈上端敞口的圆筒状,所述挂接母座的内部限定形成容纳所述接头的内腔,所述挂接母座的底部中心开设有与所述贯穿孔一相对应的贯穿孔二;
8.抱夹机构,所述抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹,所述第一抱夹和所述第二抱夹沿水平方向间隔开,所述第一抱夹和所述第二抱夹分别与所述主体支架水平滑移配合;
9.传动机构,所述传动机构有两个,所述传动机构的一端与所述托板连接,其另一端与所述抱夹机构连接,当所述内置加料器放置于所述托板上时,所述托板下降,所述托板通过所述传动机构带动所述第一抱夹和所述第二抱夹相向运动,以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持,所述抱夹机构呈夹紧状态。
10.在本实用新型的一些实施例中,所述转移工装还包括弹性复位机构,所述弹性复位机构底部固定在所述主体支架上,所述弹性复位机构顶部与所述托板相连,当所述内置
加料器放置于所述托板上时,所述托板下降,所述弹性复位机构向下压缩,以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持,所述内置加料器脱离所述托板时,弹性复位机构向上复位带动托板、传动机构向上运动,所述第一抱夹和所述第二抱夹背向运动,以使所述第一抱夹和所述第二抱夹具有允许所述内置加料器通过的开口,所述抱夹机构呈打开状态。
11.在本实用新型的一些实施例中,所述弹性复位机构包括底板、压缩弹簧和导向杆,所述底板通过多个调节螺栓水平固定于所述主体支架上端水平杆上,多个所述导向杆从下而上依次穿过水平杆、底板和托板,多个所述导向杆的底部固定在所述水平杆上,多个所述导向杆上套设压缩弹簧,多个所述导向杆的顶部穿过所述托板,并与托板固定连接,多个所述压缩弹簧的上端与所述托板的下表面连接,其下端与所述底板连接。
12.在本实用新型的一些实施例中,所述主体支架上部的左右两端对称固定一个滑轨一,两个所述滑轨一竖向设置,所述托板的左右两端垂直对称固定有与两个所述滑轨一相对应的滑块一,所述托板通过所述滑块一与所述滑轨一滑移配合。
13.在本实用新型的一些实施例中,所述主体支架的下部水平固定水平滑轨,所述第一抱夹和所述第二抱夹分别安装一个水平滑块,两个所述水平滑块与所述水平滑轨滑移配合。
14.在本实用新型的一些实施例中,所述传动机构包括竖向
连杆、倾斜连杆、连接块一、连接块二和连接块三,两个所述滑块一上分别固定有连接块一,两个所述水平滑块相互靠近的一端对称固定有连接块三,所述主体支架下部的左右两端对称固定一个滑轨二,两个所述滑轨二竖向设置,所述滑轨二位于所述滑轨一和所述水平滑轨之间,两个所述滑轨二上分别滑移配合滑块二,两个所述滑块二上对称固定所述连接块二,所述竖向连杆的上端与所述连接块一转动连接,所述竖向连杆的下端与所述连接块二的一端转动连接,所述倾斜连杆的上端与所述连接块二转动连接,所述倾斜连杆的下端与所述连接块三转动连接。
15.在本实用新型的一些实施例中,所述竖向连杆包括连杆一和连杆二,所述连杆一和所述连杆二呈半径相等的圆杆状,所述连杆一的一端被构造成矩形板一,其另一端被构造成半径小于连杆一的螺纹杆,所述连杆二的一端开设有与所述螺纹杆相配适的螺纹孔,其另一端被构造成矩形板二,所述螺纹杆与所述螺纹孔螺纹连接,并通过紧固螺母螺纹紧固,通过调整螺纹杆旋入螺纹孔的深度,以使得所述竖向连杆的整体长度可调。
16.在本实用新型的一些实施例中,所述主体支架的底部垂直固定半环形板,所述半环形板具有与所述内置加料器相配适的半圆形槽。
17.在本实用新型的一些实施例中,所述内腔的底部呈倒圆锥状,所述贯穿孔二从所述挂接母座的底部中心延伸至边沿。
18.与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
19.(1)本实用新型的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,包括主体支架、承托机构、抱夹机构和传动机构,承托机构与主体支架沿上下方向滑移配合,承托机构包括托板和挂接母座,抱夹机构与主体支架水平滑移配合,传动机构的一端与托板连接,其另一端与抱夹机构连接,本实用新型通过将接头固定在挂接母座中,只需要一组抱夹机构即能实现内置加料器的抱紧效果,因此大大缩短了转移工装的长度,减小了体积,同时由于内置加料
器顶部的接头被固定,内置加料器侧壁也被固定,因此可以避免出现类似单摆的运动,防止料管在转移过程中撞到周围物体,延长内置加料器的使用寿命。
20.(2)本实用新型的转移工装还包括弹性复位机构,弹性复位机构包括底板、压缩弹簧、导向杆和调节螺栓,使得接头向上运动离开托板时,弹性复位机构自动复位,抱夹机构打开。弹性复位机构是利用压缩弹簧弹力使托板恢复原位,通过调节四个调节螺栓的旋入和旋出可以调节底板的位置,进而调节压缩弹簧的压缩量、达到调节弹力和调节托板运动行程的目的,可以控制内置加料器的运动行程和抱夹机构的抱紧程度,以此适应不同直径的内置加料器。
21.(3)竖向连杆包括连杆一和连杆二,连杆一的一端被构造成半径小于连杆一的螺纹杆,连杆二的一端开设有与螺纹杆相配适的螺纹孔,通过调整螺纹杆旋入螺纹孔的深度来调整竖向连杆的整体长度,进而使得第一抱夹和第二抱夹对称,同时还可以对第一抱夹和第二抱夹的抱紧程度进行微调。
22.(4)主体支架的底部垂直固定半环形板,半环形板具有与内置加料器相配适的半圆形槽。半环形板采用聚四氟乙烯材质,半环形板起到限位、定位以及导向作用。
附图说明
23.图1是根据本实用新型一个实施例的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装的立体图;
24.图2是根据本实用新型一个实施例的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装在隐藏主体支架后的立体图;
25.图3是图2的主视图;
26.图4是本实用新型中托板的立体图;
27.图5是本实用新型中弹性复位机构主视图;
28.图6是本实用新型中竖向连杆的立体图;
29.图7是本实用新型中竖向连杆的剖视图;
30.图8是根据本实用新型一个实施例的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装夹持内置加料器的立体图;
31.图9是本实用新型中挂接母座的结构示意图;
32.图10是本实用新型中主体支架的俯视图。
33.附图标记:
34.转移工装100;
35.主体支架10,主体支架一11,支架二12,同心调整结构13,夹持轴14,套筒15,滑轨一16,滑块一161,滑轨二17,滑块二171,水平滑轨18,水平滑块181,半环形板19,半圆形槽191,水平杆111;
36.承托机构20,托板21,挂接母座22,内腔221,贯穿孔二222,板体一211,板体二212,贯穿孔一213,斜面214,圆孔215,连滑块板216,加强筋217;
37.抱夹机构30,第一抱夹31,第二抱夹32;
38.传动机构40,竖向连杆41,倾斜连杆42,连接块一43,连接块二44,连接块三45,连杆一411,连杆二412,矩形板一4111,螺纹杆4112,螺纹孔4121,矩形板二4122,紧固螺母
4123;
39.弹性复位机构50,底板51,压缩弹簧52,导向杆53,调节螺栓54,防磨垫块55,台阶56;
40.内置加料器200,料管210,支撑轴220,石英锥230;
41.接头300;
42.挂钩组件400,挂钩410;
43.u形接头组件500,u形环510;
44.硬轴籽晶轴600,旋转连接机构610。
具体实施方式
45.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
46.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本实用新型。此外,本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外,本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用性和/或其他材料的使用。
47.下面参考图1-图10描述根据本实用新型实施例的适用于硬轴单晶炉内置加料器200的转移工装100。转移工装100与单晶炉的旋转与提升机构(下述简称取晶臂)配合使用,取晶臂适于上下移动以及旋转转移工装100使得内置加料器200转移至副炉室内,并将内置加料器200与硬轴籽晶轴600连接,加料完成后取晶臂带动转移工装移动至副炉室内,转移工装100与内置加料器200连接后,内置加料器200与硬轴籽晶轴600脱离,取晶臂带动转移工装100退出副炉室。
48.参照图1-3所示,根据本实用新型实施例的适用于硬轴单晶炉内置加料器200的转移工装100,包括:主体支架10、承托机构20、抱夹机构30和传动机构40。
49.参照图1-4、图9所示,承托机构20用于承托接头300,承托机构20与主体支架10沿上下方向滑移配合,承托机构20包括托板21和挂接母座22,托板21的前端具有适于内置加料器200的支撑轴220通过的贯穿孔一213,托板21左右两端与主体支架10沿上下方向滑移配合,托板21上可拆卸固定挂接母座22,挂接母座22呈上端敞口的圆筒状,挂接母座22的内部限定形成容纳接头300的内腔221,挂接母座22的底部中心开设有与贯穿孔一213相对应的贯穿孔二222;
50.参考图1所示,主体支架10的下端设有抱夹机构30,抱夹机构30包括两个对称设置的第一抱夹31和第二抱夹32,第一抱夹31和第二抱夹32沿水平方向间隔开,第一抱夹31和第二抱夹32分别与主体支架10水平滑移配合,第一抱夹31和第二抱夹32相向运动实现抱夹机构30抱紧,第一抱夹31和第二抱夹32背向运动实现抱夹机构30打开;
51.参考图1所示,传动机构40有两个,两个传动机构40对称设置于主体支架10的左右
两端,传动机构40的上端与托板21连接,其下端与抱夹机构30连接,当内置加料器200放置于托板21上时,托板21下降,托板21通过传动机构40带动第一抱夹31和第二抱夹32相向运动,以使第一抱夹31和第二抱夹32对内置加料器200环抱夹持,抱夹机构30呈夹紧状态。
52.可以理解的是,取晶臂夹持转移工装100,移动转移工装100使得内置加料器200的支撑轴220进入贯穿孔一213和贯穿孔二222中,上移转移工装100使得支撑轴220顶部的接头300落入挂接母座22的内腔221中,内置加料器200的重力压在托板21上,托板21下移,传动机构40将托板21的下降运动转换成第一抱夹31和第二抱夹32相向运动,以使第一抱夹31和第二抱夹32对内置加料器200环抱夹持。本实用新型通过将接头300固定在挂接母座22中,只需要一组抱夹机构30即能实现内置加料器200的抱紧效果,因此大大缩短了转移工装100的长度,减小了体积,同时由于内置加料器200顶部的接头300被固定,内置加料器200侧壁也被固定,因此可以避免出现类似单摆的运动,防止料管210在转移过程中撞到周围物体,延长内置加料器200的使用寿命。
53.在本实用新型的一些实施例中,托板21的具体结构参考图4所示,托板21包括板体一211和板体二212,板体一211和板体二212均呈矩形板状,板体一211的长度大于板体二212的长度,板体一211的前端中部开设有贯穿孔一213,贯穿孔一213呈u形,板体一211在贯穿孔一213的两侧的部分被构造成斜面214,以起到减重作用,板体一211的后端中部水平一体连接板体二212,板体二212的中部对称开设两个允许导向杆53通过的圆孔215,板体一211在板体二212的两侧分别垂直焊接连滑块板216,连滑块板216通过螺栓与滑块一161螺纹连接。参考图3所示,两个连滑块板216远离托板21的一侧对称螺纹连接连接块一43,进一步地,板体一211与连滑块板216之间设有加强筋217。
54.在本实用新型的一些实施例中,参考图1、图3和图5所示,转移工装100还包括弹性复位机构50,弹性复位机构50底部固定在主体支架10上端的水平杆111上,弹性复位机构50顶部与托板21相连,当内置加料器200上方的接头300放置于托板21上时,托板21下降,弹性复位机构50向下压缩,以使第一抱夹31和第二抱夹32对内置加料器200环抱夹持,内置加料器200上方的接头300脱离托板21时,弹性复位机构50向上复位带动托板21、传动机构40向上运动,第一抱夹31和第二抱夹32背向运动,以使第一抱夹31和第二抱夹32具有允许内置加料器200通过的开口,抱夹机构30呈打开状态。弹性复位机构50的设置,使得接头300向上运动离开托板21时,弹性复位机构50自动复位,抱夹机构30打开。
55.具体地,在本实用新型的一些实施例中,参考图5所示,弹性复位机构50包括底板51、压缩弹簧52和导向杆53,底板51的两端分别通过两个调节螺栓54螺纹连接于主体支架10上端的水平杆111上,多个导向杆53从下而上依次穿过水平杆111、底板51和托板21,多个导向杆53的底部固定在水平杆111上,多个导向杆53上套设压缩弹簧52,多个导向杆53的顶部穿过托板21上的圆孔215,多个压缩弹簧52的上端与托板21的下表面连接,其下端与底板51连接。导向杆53的数量可以为2-5个,例如2个、3个、4个或5个,本实施例中,导向杆53和压缩弹簧52的数量均为2个。优选地,导向杆53在压缩弹簧52的上下两端分别套设防磨垫块55,防磨垫块55具有台阶56,所述台阶56位于远离压缩弹簧52的一端,上、下两个防磨垫块55分别通过台阶56伸入至圆孔215、底板51对应的孔中,防磨垫块55和台阶56采用聚四氟乙烯材质,一方面可以防止压缩弹簧52与托板21和底板51摩擦产生金属粉末,另一方面对导向杆53起到导向润滑作用,防止导向杆53与托板21和底板51产生摩擦。弹性复位机构50是
利用压缩弹簧52弹力使托板21恢复原位,通过调节四个调节螺栓54的旋入和旋出可以调节底板51的位置,进而调节压缩弹簧52的压缩量达到调节弹力和调节托板21运动行程的目的。由于水平杆111是固定不动的,导向杆53与水平杆111固定连接,因此导向杆53也是固定不动的,转移工装100未放置内置加料器200时,托板21位置也是固定不动的,通过向下旋入四个调节螺栓54,调节螺栓54将底板51顶起,使得压缩弹簧52进一步压缩,进而剩余的压缩量变小,从而可以控制内置加料器200的运动行程和抱夹机构30的抱紧程度,以此适应不同直径的内置加料器200。
56.在本实用新型的一些实施例中,参考图1-3所示,主体支架10上部的左右两端对称固定一个滑轨一16,两个滑轨一16竖向设置,托板21的左右两端垂直对称固定有与两个滑轨一16相对应的滑块一161,两个滑块一161通过螺栓分别固定在托板21的左右两端的连滑块板216上,托板21通过滑块一161与滑轨一16在上下方向上滑移配合。
57.在本实用新型的一些实施例中,参考图2和图3所示,主体支架10的下部水平固定水平滑轨18,第一抱夹31和第二抱夹32分别安装一个水平滑块181,两个水平滑块181与水平滑轨18滑移配合。
58.在本实用新型的一些实施例中,参考图1-图3所示,传动机构40包括竖向连杆41、倾斜连杆42、连接块一43、连接块二44和连接块三45,两个滑块一161上对称固定有连接块一43,两个水平滑块181相互靠近的一端对称固定有连接块三45,主体支架10下部的左右两端对称固定一个滑轨二17,两个滑轨二17竖向设置,滑轨二17位于滑轨一16和水平滑轨18之间,两个滑轨二17上分别滑移配合滑块二171,两个滑块二171上对称固定连接块二44,竖向连杆41的上端与连接块一43转动连接,竖向连杆41的下端与连接块二44的一端转动连接,倾斜连杆42的上端与连接块二44转动连接,倾斜连杆42的下端与连接块三45转动连接。以位于主体支架10左端的传动机构40为例,托板21上下移动,依次带动竖向连杆41、连接块一43上下移动,连接块一43的上下移动带动倾斜连杆42顺时针或逆时针转动,进而带动第一抱夹31相对第二抱夹32背向或相向运动。
59.在本实用新型的一些实施例中,参考图3、图6和图7所示,竖向连杆41包括连杆一411和连杆二412,连杆一411和连杆二412呈半径相等的圆杆状,连杆一411的一端被构造成矩形板一4111,其另一端被构造成半径小于连杆一411半径的螺纹杆4112,连杆二412的一端开设有与螺纹杆4112相配适的螺纹孔4121,其另一端被构造成矩形板二4122,螺纹孔4121的深度不小于螺纹杆4112的长度,螺纹杆4112与螺纹孔4121螺纹连接,并通过紧固螺母4123螺纹紧固。通过调整螺纹杆4112旋入螺纹孔4121的深度来调整竖向连杆41的整体长度,使得第一抱夹31和第二抱夹32对称,且可以对第一抱夹31和第二抱夹32的抱紧程度进行微调。
60.在本实用新型的一些实施例中,参考图1所示,主体支架10的底部垂直固定半环形板19,半环形板19具有与内置加料器200相配适的半圆形槽191。半环形板19采用聚四氟乙烯材质,半环形板19起到限位、定位以及导向作用,首先,可以防止内置加料器200撞到转移工装100,限制内置加料器200继续朝向主体支架10运动;其次,半环形板19具有与内置加料器200相配适的半圆形槽191,因此可以定位内置加料器200;再次,当转移工装100前移去连接内置加料器200时,可以导向内置加料器200。
61.在本实用新型的一些实施例中,参考图9所示,内腔221的底部呈倒圆锥状,贯穿孔
二222从挂接母座22的底部中心延伸至边沿,以形成允许内置加料器200的支撑轴220进出的通道,换言之,贯穿孔二222的横截面呈u形。
62.在本实用新型的一些实施例中,参考图1和图10所示,主体支架10包括支架一11和支架二12,支架一11上安装上述托板21、抱夹机构30等结构,支架一11远离抱夹机构30的一侧通过四个同心调整结构13连接支架二12,支架二12远离支架一11的一侧螺纹垂直连接夹持轴14,主体支架10不是本实用新型的发明点,其具体结构可以参考实用新型专利(公开号cn217149380u),这里不再详细描述,支架一11远离抱夹机构30的一侧下部对称固定连接套筒15,套筒15用于在将转移工装100放置在推车时,将转移工装100与推车连接。
63.参考图8所示,本实用新型的转移工装100在转移内置加料器200时,先在内置加料器200的支撑轴220顶部安装接头300,接头300与挂接母座22相配适,接头300的上端与挂钩组件400固定连接,挂钩组件400的挂钩410挂载在u形接头组件500的u形环510上,硬轴籽晶轴600通过旋转连接机构610与的上端与u形接头组件500连接,本实用新型中接头300、u形接头组件500、旋转连接机构610和u形接头组件500不是本实用新型的发明点,这里不再详细描述,其中u形接头组件500、旋转连接机构610和u形接头组件500的具体结构可以参考实用新型专利(公开号cn217149406u)。
64.参考图8所示,根据本实用新型实施例的内置加料器200包括料管210、石英锥230和与石英锥230连接的支撑轴220,内置加料器200的具体结构、以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的,这里不再详细描述。
65.工作过程:
66.转移内置加料器200至副炉室:转移工装100通过推车推至单晶炉指定位置,取晶臂的滑台前移与夹持轴214挂接,取晶臂向上提升设定高度后转移工装100与推车分离,推走推车,将装有内置加料器200的小车推至单晶炉指定位置后,将内置加料器200调整至竖直状态,通过取晶臂带动转移工装100前移实现支撑轴220滑入托板21和挂接母座22的贯穿孔一213和贯穿孔二222,然后取晶臂带动转移工装100上移,使得支撑轴220顶部的接头300落入挂接母座22的内腔221中,同时内置加料器200的重力压在托板21上,托板21下移,传动机构40将托板21的下降运动转换成第一抱夹31和第二抱夹32相向运动,以使第一抱夹31和第二抱夹32对内置加料器200环抱夹持,达到防止内置加料器200在运动中摆动撞击导致损坏的目的。取晶臂带动转移工装100上移至设定高度后带动转移工装100及内置加料器200后平移至限位,然后旋转至正对副炉室后,向前平移使挂钩组件400的挂钩410挂载落入u形接头组件500的u形环510内,取晶臂带动转移工装100下移,挂钩410与u形环510接触受力,内置加料器200上方的接头300脱离托板21时,弹性复位机构50向上复位带动托板21、传动机构40向上运动,第一抱夹31和第二抱夹32背向运动,以使第一抱夹31和第二抱夹32之间形成内置加料器200通过的开口,抱夹机构30呈打开状态。然后通过取晶臂带动转移工装100后移实现支撑轴220滑出托板21和挂接母座22的贯穿孔一213和贯穿孔二222,实现内置加料器200与转移工装100分离,最后将转移工装100旋出至设定位置。
67.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装
置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
68.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
69.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接,还可以是通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
70.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
71.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
72.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。
技术特征:
1.一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,包括:主体支架;承托机构,用于承托内置加料器的接头,所述承托机构与所述主体支架沿上下方向滑移配合,所述承托机构包括托板和挂接母座,所述托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一,所述托板左右两端与所述主体支架沿上下方向滑移配合,所述托板上可拆卸固定所述挂接母座,所述挂接母座呈上端敞口的圆筒状,所述挂接母座的内部限定形成容纳所述接头的内腔,所述挂接母座的底部中心开设有与所述贯穿孔一相对应的贯穿孔二;抱夹机构,所述抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹,所述第一抱夹和所述第二抱夹沿水平方向间隔开,所述第一抱夹和所述第二抱夹分别与所述主体支架水平滑移配合;传动机构,所述传动机构有两个,所述传动机构的一端与所述托板连接,其另一端与所述抱夹机构连接,当所述内置加料器放置于所述托板上时,所述托板下降,所述托板通过所述传动机构带动所述第一抱夹和所述第二抱夹相向运动,以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持,所述抱夹机构呈夹紧状态。2.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,还包括弹性复位机构,所述弹性复位机构底部固定在所述主体支架上,所述弹性复位机构顶部与所述托板相连,当所述内置加料器放置于所述托板上时,所述托板下降,所述弹性复位机构向下压缩,以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持,所述内置加料器脱离所述托板时,弹性复位机构向上复位带动托板、传动机构向上运动,所述第一抱夹和所述第二抱夹背向运动,以使所述第一抱夹和所述第二抱夹具有允许所述内置加料器通过的开口,所述抱夹机构呈打开状态。3.根据权利要求2所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述弹性复位机构包括底板、压缩弹簧和导向杆,所述底板通过多个调节螺栓水平固定于所述主体支架上端的水平杆上,多个所述导向杆从下而上依次穿过水平杆、底板和托板,多个所述导向杆的底部固定在所述水平杆上,多个所述导向杆上套设压缩弹簧,多个所述导向杆的顶部穿过所述托板,并与托板固定连接,多个所述压缩弹簧的上端与所述托板的下表面连接,其下端与所述底板连接。4.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述主体支架上部的左右两端对称固定一个滑轨一,两个所述滑轨一竖向设置,所述托板的左右两端垂直对称固定有与两个所述滑轨一相对应的滑块一,所述托板通过所述滑块一与所述滑轨一滑移配合。5.根据权利要求4所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述主体支架的下部水平固定水平滑轨,所述第一抱夹和所述第二抱夹分别安装一个水平滑块,两个所述水平滑块与所述水平滑轨滑移配合。6.根据权利要求5所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述传动机构包括竖向连杆、倾斜连杆、连接块一、连接块二和连接块三,两个所述滑块一上分别固定有连接块一,两个所述水平滑块相互靠近的一端对称固定有连接块三,所述主体支架下部的左右两端对称固定一个滑轨二,两个所述滑轨二竖向设置,所述滑轨二位于所述
滑轨一和所述水平滑轨之间,两个所述滑轨二上分别滑移配合滑块二,两个所述滑块二上对称固定所述连接块二,所述竖向连杆的上端与所述连接块一转动连接,所述竖向连杆的下端与所述连接块二的一端转动连接,所述倾斜连杆的上端与所述连接块二转动连接,所述倾斜连杆的下端与所述连接块三转动连接。7.根据权利要求6所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述竖向连杆包括连杆一和连杆二,所述连杆一和所述连杆二呈半径相等的圆杆状,所述连杆一的一端被构造成矩形板一,其另一端被构造成半径小于连杆一的螺纹杆,所述连杆二的一端开设有与所述螺纹杆相配适的螺纹孔,其另一端被构造成矩形板二,所述螺纹杆与所述螺纹孔螺纹连接,并通过紧固螺母螺纹紧固。8.根据权利要求1-7任一项所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述主体支架的底部垂直固定半环形板,所述半环形板具有与所述内置加料器相配适的半圆形槽。9.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,其特征在于,所述内腔的底部呈倒圆锥状,所述贯穿孔二从所述挂接母座的底部中心延伸至边沿。
技术总结
本实用新型公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装,包括:主体支架;承托机构,承托机构与主体支架沿上下方向滑移配合,承托机构包括托板和挂接母座,托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一,托板与主体支架沿上下方向滑移配合,托板上可拆卸固定挂接母座,挂接母座呈上端敞口的圆筒状,挂接母座的内部限定形成容纳接头的内腔,挂接母座的底部中心开设有与贯穿孔一相对应的贯穿孔二;抱夹机构,抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹,第一抱夹和第二抱夹沿水平方向间隔开,第一抱夹和第二抱夹分别与主体支架水平滑移配合;传动机构,传动机构有两个,传动机构的一端与托板连接,其另一端与抱夹机构连接。夹机构连接。夹机构连接。
技术研发人员:
宋涛 张理杰 汪佳 王晓明 蒋玉娇
受保护的技术使用者:
徐州鑫晶半导体科技有限公司
技术研发日:
2022.11.11
技术公布日:
2023/3/28