1.本发明涉及光
波导器件和传感检测领域，尤其是一种具有高分辨率和大带宽的
偏振不敏感高性能微型芯片
光谱仪。
背景技术：
2.光谱仪通过检测光经过待测样品后的吸收/反射光谱或通过监测在已知波长处的强度变化来识别特定物质，在环境监测、化学检测、工农业生产、医学诊断和天文探测等领域具有重要作用。传统的商用光谱仪主要由分立元件组成，例如散光栅、可调谐滤光片和光电探测器，但它们通常体积庞大且价格昂贵。采用集成光子技术的片上光谱仪近年来得到深入研究，由于其具有超紧凑的尺寸、高可靠性、低成本、低能耗、以及与光源和/或光电探测器在同一芯片上混合集成的可能性。特别是，使用基于互补金属氧化物半导体(cmos)的硅光子制造工艺，可以实现片上光谱仪的大规模生产，大大降低成本。近年来，随着智能家居、可穿戴设备、健康监测等领域的快速发展，小型化、轻质和低成本的芯片光谱仪将需求迫切，一直是光谱仪研究中的热点。
3.基于光波导的片上光谱仪主要可分为三类。第一个是傅里叶变换光谱仪(fts)，它采用一组具有线性增加的路径长度差(也称为空间外差fts、sh-fts)的马赫-曾德尔干涉仪(mzi)或带有一个平衡mzi利用热光效应或电光效应来调谐某一臂。fts的一个重要优点是fellgett多路复用优势，这使得fts具有更高的信噪比。然而，对于sh-fts，由于芯片尺寸有限，光谱分辨率δλ和带宽bw(bw＝n/2
×
δλ，其中n是mzi的数量)之间存在折衷。在可调谐的基于mzi的fts中，由于热光效应，测量时间非常长，为了产生足够的光程差来实现高分辨率，加热mzi的一个臂所消耗的功率非常大。此外，高热功率也会影响测量的稳定性并引起非线性问题，使光谱还原的校准变得复杂。第二种是使用滤波器
阵列，例如微环谐振器阵列。然而，环形谐振器通常非常容易受到制作误差的影响，并且具有有限的自由光谱范围(fsr)。第三种类型基于散元件，例如阶梯衍射光栅(edg)、阵列波导光栅(awg)。尽管它们具有高稳定性的优点，但缺点是器件占用空间和分辨率成正比，高光谱分辨率和大通道数很难同时兼得。特别是在具有高折射率差的材料平台上比如soi平台，edg/awg的光谱性能随着分辨率提高到亚纳米级而迅速恶化。另一方面，对于高折射率平台，其波导往往具有高结构双折射，这使得基于它们的光谱仪对偏振十分敏感。对于非偏振输入光，将有3db的额外损耗，造成光谱仪的信噪比降低。因此，需要对输入光的偏振态进行额外控制，但这会使测量系统变得复杂，并且不适用于大多数现场测试应用。
4.因此，一种能解决上述难点的芯片光谱仪变得尤为重要，特别是随着近年来便携式传感器和片上小型化检测系统的发展，该类芯片光谱仪需求迫切。
技术实现要素：
5.为了满足光谱仪小型化、高分辨率、低损耗、低偏振波长漂移和低偏振相关损耗的要求。本发明提出了一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪。
6.本发明的目的是通过如下技术方案实现的：
7.一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，包括:3个偏振处理器、两组输入波导、第一自由传输区、相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、第二自由传输区、两组输出波导和探测器；其中，每组输入波导包含3根输入波导，3根输入波导时分复用；每组输出波导包含n根输出波导#ja或#jb(j＝1,2,
…
,n)；
8.所述偏振处理器用于将随机偏振态的入射光分解成两个相同的偏振光tea和teb并输入至两组输入波导，其中tea对应的n个输出为#ja，teb对应的n个输出为#jb。两组输入波导的输出端、两组输出波导的输入端其中的一组与第一自由传输区连接，另一组和第二自由传输区连接，第一自由传输区和第二自由传输区通过相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导相连接，两组输出波导的输出端与探测器相连接。
9.进一步，每组输入波导中输入波导之间的通道间隔为每组输出波导中n个波导的通道间隔为δλ。
10.更进一步，每组输入波导中中对应tea的三个输入与每组输出波导中对应的n个输出#ja之间以及每组输入波导中中对应teb的三个输入和每组输出波导中对应的n个输出#jb之间满足如下关系
11.nsdasinθi+naδl+nsdasinβj＝mλ
i_j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)
12.其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数。ns和na是在波长λ
i_j
(输入波导序数i，输出波导序数j)处，第一、第二自由传输区和阵列波导中的有效折射率。da是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期。m为衍射级数，θi是输入波导#i与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角，βj是输出波导#j与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角。
13.一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，包括:1个偏振处理器、两个1
×
3光开关、两组输入波导、第一自由传输区、相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、第二自由传输区、两组输出波导和探测器。其中，输入波导包含3根输入波导，输出波导包含n根输出波导；
14.所述偏振处理器用于将随机偏振态的入射光分解成两个相同的偏振光tea和teb，且tea和teb分别和1
×
3光开关的输入端相连接；
15.每组1
×
3光开关的3个输出端分别与一组输入波导的输入端相连，1
×
3光开关的3个输出端时分复用；两组输入波导的输出端、两组输出波导的输入端其中的一组与第一自由传输区连接，另一组和第二自由区连接，第一自由传输区和第二自由区通过相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导相连接，两组输出波导的输出端与探测器相连接。
16.进一步，每组输入波导中输入波导之间的通道间隔为每组输出波导中n个波导的通道间隔为δλ。
17.更进一步，每组输入波导中中对应tea的三个输入与每组输出波导中对应的n个输出#ja之间以及每组输入波导中中对应teb的三个输入和每组输出波导中对应的n个输出#jb之间满足如下关系
18.nsdasinθi+naδl+nsdasinβj＝mλ
i_j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)
19.其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数。ns和na是在波长λ
i_j
(输入波导序数i，输出波导序数j)处，第一、第二自由传输区和阵列波导中的有效折射率。da是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期。m为衍射级数，θi是输入波导#i与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角，βj是输出波导#j与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角。
20.一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，包括:输入波导、第一自由传输区、相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、第二自由传输区、输出波导、探测器；其中，输入波导包含3根输入波导，3根输入波导时分复用；输出波导包含n根输出波导；输入波导的输出端与第一自由传输区连接，输出波导的输入端与第一自由传输区连接，第一自由传输区和第一自由传输区通过阵列波导连接，输出波导的输出端与探测器连接。
21.进一步，输入波导中输入波导之间的通道间隔为输出波导中n个输出波导的通道间隔为δλ。
22.更进一步，输入波导中三个输入波导#i与输出波导中n个输出波导#j之间满足如下关系
23.nsdasinθi+naδl+nsdasinβj＝mλ
i-j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)
24.其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数。ns和na是在波长λ
i_j
(输入波导序数i，输出波导序数j)处，第一、第二自由传输区和阵列波导中的有效折射率。da是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期。m为衍射级数，θi是输入波导#i与第一自由传输区的中心轴线之间的夹角，βj是输出波导#j与第二自由传输区的中心轴线之间的夹角。
25.更进一步，还包括一个1
×
3光开关，其中1
×
3光开关的输入端用于输入光，1
×
3光开关的3个输出端与输入波导的输入端连接。
26.本发明的有益效果主要表现在：1、高分辨率、大带宽和偏振不敏感；2、适用于各种材料平台，比如sio2、氮化硅(si3n4)、硅(si)和gesi等材料平台。
附图说明
27.图1是本发明提出的一种针对偏振敏感波导结构的高分辨率芯片光谱仪构架；
28.图2是本发明提出的另一种针对偏振敏感波导结构的高分辨率芯片光谱仪构架；
29.图3是本发明提出的一种针对偏振不敏感波导结构的高分辨率芯片光谱仪构架；
30.图4是本发明提出的另一种针对偏振不敏感波导结构的高分辨率芯片光谱仪构架；
31.图5是图a和图b中x-偏振处理器的两个实施范例；
32.图6是图2和图4中s-1
×
3光开关的一个实施范例；
33.图7是f探测器的两个实施范例；
34.图8是利用本发明图1所示结构的一个实施范例；
35.图9是图8所示的微型光谱仪利用三个输入和n个输出来产生3
×
(n-2)个波长且波长间隔为n个输出波导波长间隔的1/3δλ的示意图；
36.图10是制作的图8所示结构在te和tm偏振下对对应三个输入波导的所有29个输出
通道的透射光谱图；
37.图11是图8所示结构合并三个输入后得到的81个通道，波长间隔为0.4nm的波长组；
具体实施方式
38.下面结合附图对本发明作进一步描述。
39.参照图1，本发明的一种新颖的高分辨率芯片光谱仪包括:3个x-偏振处理器、两组a-输入波导、b-第一自由传输区、c-相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、d-第二自由传输区、两组e-输出波导、f-探测器。其中，a-输入波导包含3根输入波导，e-输出波导包含n根输出波导#ja或#jb(j＝1,2,
…
,n)。所述x-偏振处理器将随机偏振态的入射光分解成两个相同的偏振光tea和teb，且tea对应的n个输出为#ja，teb对应的n个输出为#jb。a中对应tea的三个输入和e中对应的n个输出#jb与d-第二自由传输区连接，a中对应teb的三个输入和e中对应的n个输出#ja与b-第一自由传输区连接，b和d通过c相连接，输出波导#ja和#jb与f-探测器相连接。
40.参阅图2，因为本发明提出的微型芯片光谱仪采用的3个x-偏振处理器是时分复用，可以将这三个x-偏振处理器替换为一个x-偏振处理器，该x-偏振处理器连接两个s-1
×
3光开关。此时本发明结构图1可以更改为图2的结构，即需要：1个x-偏振处理器、两个s-1
×
3光开关、两组a-输入波导、b-第一自由传输区、c-相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、d-第二自由传输区、两组e-输出波导、f-探测器。其中，a-输入波导包含3根输入波导，e-输出波导包含n根输出波导#ja或#jb(j＝1,2,
…
,n)。所述x-偏振处理器将随机偏振态的入射光分解成两个相同的偏振光tea和teb，且tea和teb均和s的输入端相连接。对应tea的s的三个输出和e中的n个输出#jb与d-第二自由传输区连接，对应teb的s的三个输出和e中的n个输出#ja与b-第一自由传输区连接，b和d通过c相连接，输出波导#ja和#jb与f-探测器相连接。
41.参阅图3，当微型芯片光谱仪中各单元结构a、b、c、d、e、f均是对输入光偏振态不敏感时，本发明结构图1可以简化为图3的结构，即需要：a-输入波导、b-第一自由传输区、c-相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、d-第二自由传输区、e-输出波导、f-探测器。其中，a-输入波导包含3根输入波导，e-输出波导包含n根输出波导#j(j＝1,2,
…
,n)，a和b相连接，b和d通过c相连接，d和e相连接，e和一组f阵列相连接。
42.参阅图4，当微型芯片光谱仪中各单元结构a、b、c、d、e、f、s均是对输入光偏振态不敏感时，本发明结构图2可以简化为图4的结构，即需要：1个s-1
×
3光开关、a-输入波导、b-第一自由传输区、c-相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、d-第二自由传输区、e-输出波导、f-探测器。其中，a-输入波导包含3根输入波导，e-输出波导包含n根输出波导#j(j＝1,2,
…
,n)。s的输出和a相连接，a和b相连接，b和d通过c相连接，d和e相连接，e和一组f阵列相连接。
43.参阅图5，x-偏振处理器负责将光纤中随机偏振态的输入光转化为波导2，3中的te偏振光，x-偏振处理器的两个举例实施结构如图5所示，图5(a)中4是光纤中随机偏振态的输入光分解为相对于输出波导2和3的两个正交分量，图5(b)中5是光纤中随机偏振态的光耦合到输入波导1中的te0和tm0偏振态。第一种偏振处理器利用2d光栅耦合器可以将光纤中
正交的两个偏振分量分别耦合到波导中的te基模进行传输，第二种偏振处理器将光纤中正交的两个偏振分量分别耦合到波导中的te(transverse electric,横电)和tm(transverse magnetic，横磁)基模5，同时tm基模再旋转成te基模，最后变成两路te基模。
44.图6是针对图2和图4中s-1
×
3光开关的一个实施范例。s-1
×
3光开关由2个1
×
2的对称mzi通过级联来实现,每一个mzi的一个臂上放置有一个金属加热器8，通过调节金属加热器8上的电压可以实现对mzi的两个输出端之一进行选择。合适的调节各mzi上的加热电压可以选择s-1
×
3光开关的某一个输出，保证图2中的两路te_a和te_b光每一次只从对应端口输出；
45.图7是f-探测器的两个实施范例，对于偏振敏感波导结构，双向探测结构适用，即图7左图，光敏区同时吸收两个te光6和7；对于偏振不敏感的波导结构，单向探测结构适用，即图7右图，光敏区吸收输入光6。
46.图8给出了本发明图1所示结构的一个实施范例，awg以反向传播方式工作，a中三个输入波导之间的通道间隔为e中n个波导的通道间隔为δλ，a中对应tea的三个输入与e中对应的n个输出#jb之间以及a中对应teb的三个输入和e中对应的n个输出#ja之间满足如下关系
47.nsdasinθi+naδl+nsdasinβj＝mλ
i_j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)
48.其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数。ns和na是在波长λ
i_j
(输入波导序数i，输出波导序数j)处，自由传输区(b和d)和c-阵列波导中的有效折射率。da是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期。m为衍射级数，θi是输入波导#i与b-第一自由传输区(d-第二自由传输区)的中心轴线之间的夹角，βj是输出波导#j与b-第一自由传输区(d-第二自由传输区)的中心轴线之间的夹角。
49.b-第一自由传输区(d-第二自由传输区)的半径可以用下式来表示：
[0050][0051]
其中n
gs
和n
ga
分别为b-第一自由传输区(d-第二自由传输区)和c-阵列波导的折射率。do为相邻输出波导在b和d上的间距，da是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期，λ0和δλ分别为设计的中心波长和通道间距，θi是输入波导#i与b-第一自由传输区(d-第二自由传输区)的中心轴线之间的夹角。
[0052]
图9是利用本发明的微型光谱仪来实现产生通道数为3
×
(n-2)、波长间隔为1/3δλ的光谱响应示意图，δλ是相邻输出波导之间的通道波长间隔。三个输入波导(i＝1，2，3)是时分复用的，即一次只激励一个输入波导，并且对于每个输入波导，对应于一组n个输出波长信号(λ
i_1
，λ
i_2
，
…
，λ
i_n-1
，λ
i_n
)，间距为δλ。由于三个输入波导之间的波长间隔被设计为4/3δλ，因此与对应于输入波导1的第一波长组相比，对应于输入波导2的第二波长组具有4/3δλ的波长偏移以及对应于输入波导3的第三波长组8/3δλ的波长偏移。组合这三个波长组，我们可以获得具有均匀的波长间隔1/3δλ和通道数3
×
(n-2)的波长组。
[0053]
下面我们将以一个实际的例子来对本发明作进一步阐述：
[0054]
所述芯片awg光谱仪是在soi硅片上制作的，表面硅层厚度为220nm，掩埋氧化层厚度为2μm。首先，利用193nm光刻技术将图8所示微型光谱仪的图形转移到一层光刻胶(pr)
中，并通过感应耦合等离子体刻蚀将其转移到sio2硬掩模中。然后刻蚀一层70nm厚的硅，形成2d光栅耦合器，即x-偏振处理器。随后，剩余的150nm厚的硅被完全刻蚀以形成沟道波导。最后，采用等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)沉积了厚度为2μm的sio2上包层。
[0055]
来自可调谐光源的光首先通过一个光纤偏振控制器，该控制器可以通过旋转三个光纤环来改变输入光的偏振方向，然后通过2d光栅耦合器将光耦合到本发明微型芯片(awg)光谱仪的第一个输入端口。光通过awg传输后，分别在29个输出端口使用2d光栅耦合器进行收集。紧接着，光分别耦合到awg的第二和第三输入端口，并在29个输出端口处再次收集。图10是制作的图8所示结构在te和tm偏振下对应三个输入波导的所有29个输出通道的透射光谱图。由于awg光谱仪的优化布局设计，所有输出通道都实现了良好的光谱形状和均匀性。图11是图8所示结构合并三个输入后得到的81个通道的波长组，其波长间隔为0.4nm。
[0056]
本发明提出的awg光谱仪的一个关键优点是：对三个输入采用时分复用，只需要n个输出端口就可以实现一个3
×
(n-2)个通道、波长间隔为1/3δλ的光谱仪，而所设计的awg的信道间隔设置为δλ。在确定波导参数后，由于awg的b-第一自由传输区(d-第二自由传输区)的半径r与输出波导波长间隔成反比，那么与相同波长间隔为1/3δλ的1
×
3(n-2)awg光谱仪相比，本发明所提出的awg光谱仪的半径r减小为传统awg光谱仪的1/3，大大减少了awg的相位区域的占地面积。
[0057]
本发明所提出的新颖的微型芯片光谱仪具有尺寸超紧凑、分辨率高、通过减少接收通道数量来实现大量波长通道的优点，对于小型化光谱分析系统非常有前景。
[0058]
此外，虽然本发明提出了一种新颖的微型芯片光谱仪，并给出了关键器件的一些实施例，但对于其中关键器件的其他设计和修改均属于本发明的范畴，它包括但不限于：使用波长间隔为的多个输入波导，一个片外的光开关或不同类型的片上光开关，一个不同类型的波分复用器比如基于蚀刻衍射光栅等，它们最终实现的功能是一致的，故均属于本发明方案的范畴。
技术特征：
1.一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，其特征在于，包括:3个偏振处理器、两组输入波导、第一自由传输区、相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、第二自由传输区、两组输出波导和探测器；其中，每组输入波导包含3根输入波导，3根输入波导时分复用；每组输出波导包含n根输出波导；所述偏振处理器用于将随机偏振态的入射光分解成两个相同的偏振光te
a
和te
b
并输入至两组输入波导，两组输入波导的输出端、两组输出波导的输入端其中的一组与第一自由传输区连接，另一组和第二自由传输区连接，第一自由传输区和第二自由传输区通过相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导相连接，两组输出波导的输出端与探测器相连接。2.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，每组输入波导中输入波导之间的通道间隔为每组输出波导中n个输出波导的通道间隔为δλ。3.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，每组输入波导中对应te
a
的3个输入与每组输出波导中对应的n个输出之间满足如下关系n
s
d
a
sinθ
i
+n
a
δl+n
s
d
a
sinβ
j
＝mλ
i-j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数；n
s
和n
a
是在输入波导序数i，输出波导序数j的波长λ
i_j
处，第一、第二自由传输区和阵列波导中的有效折射率；d
a
是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期；m为衍射级数，θ
i
是输入波导i与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角，β
j
是输出波导j与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角。4.一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，其特征在于，包括:1个偏振处理器、两个1
×
3光开关、两组输入波导、第一自由传输区、相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、第二自由传输区、两组输出波导和探测器。其中，输入波导包含3根输入波导，输出波导包含n根输出波导；所述偏振处理器用于将随机偏振态的入射光分解成两个相同的偏振光te
a
和te
b
，且te
a
和te
b
分别和1
×
3光开关的输入端相连接；每组1
×
3光开关的3个输出端分别与一组输入波导的输入端相连，1
×
3光开关的3个输出端时分复用；两组输入波导的输出端、两组输出波导的输入端其中的一组与第一自由传输区连接，另一组和第二自由区连接，第一自由传输区和第二自由区通过相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导相连接，两组输出波导的输出端与探测器相连接。5.根据权利要求4所述的光谱仪，其特征在于，每组输入波导中输入波导之间的通道间隔为每组输出波导中n个输出波导的通道间隔为δλ。6.根据权利要求4所述的光谱仪，其特征在于，每组输入波导中对应te
a
的3个输入与每组输出波导中对应的n个输出之间满足如下关系n
s
d
a sinθ
i
+n
a
δl+n
s
d
a sinβ
j
＝mλ
i-j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数；n
s
和n
a
是在输入波导序数i，输出波导序数j的波长λ
i_j
处，第一、第二自由传输区和阵列波导中的有效折射率；d
a
是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期；m为衍射级数，θ
i
是输入波导i与第一、第二
自由传输区的中心轴线之间的夹角，β
j
是输出波导j与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角。7.一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，其特征在于，包括:输入波导、第一自由传输区、相邻阵列波导之间具有恒定长度差δl的阵列波导、第二自由传输区、输出波导、探测器；其中，输入波导包含3根输入波导，3根输入波导时分复用；输出波导包含n根输出波导；输入波导的输出端与第一自由传输区连接，输出波导的输入端与第一自由传输区连接，第一自由传输区和第一自由传输区通过阵列波导连接，输出波导的输出端与探测器连接。8.根据权利要求7所述的光谱仪，其特征在于，输入波导中输入波导之间的通道间隔为输出波导中n个输出波导的通道间隔为δλ。9.根据权利要求7所述的光谱仪，其特征在于，每组输入波导中对应te
a
的3个输入与每组输出波导中对应的n个输出之间满足如下关系n
s
d
a sinθ
i
+n
a
δl+n
s
d
a sinβ
j
＝mλ
i-j
(i＝1,2,3；j＝1,2,...,n-1,n)其中，下标i和j分别表示输入波导序数和输出波导序数；n
s
和n
a
是在输入波导序数i，输出波导序数j的波长λ
i_j
处，第一、第二自由传输区和阵列波导中的有效折射率；d
a
是阵列波导的端点在光栅极点的切线上的常数投影周期；m为衍射级数，θ
i
是输入波导i与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角，β
j
是输出波导j与第一、第二自由传输区的中心轴线之间的夹角。10.根据权利要求7所述的光谱仪，其特征在于，还包括一个1
×
3光开关，其中1
×
3光开关的输入端用于输入光，1
×
3光开关的3个输出端与输入波导的输入端连接。
技术总结
本发明提供了一种偏振不敏感高分辨率芯片光谱仪，该光谱仪对3个输入采用时分复用，只需要N个输出端口就可以实现一个3
技术研发人员：
邹俊 李凌峰 熊恒娜 王昌辉
受保护的技术使用者：
浙江工业大学
技术研发日：
2022.08.11
技术公布日：
2022/11/25
