薄膜设备高压保护装置及薄膜设备的制作方法

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1.本技术涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及薄膜设备。

背景技术：

2.现有的薄膜设备在工作时，工作舱室内存在高压放电情况；当工作舱的机盖打开时，若工作舱室内还存在高压，则操作人员有触电的风险。

技术实现要素：

3.为了克服现有技术中的上述不足，本技术的目的在于提供一种薄膜设备高压保护装置及薄膜设备，可以避免打开薄膜设备的舱门时，工作人员触电的风险。
4.本实用新型的第一方面，提供了一种薄膜设备高压保护装置，包括电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器、第一继电器、第二继电器和报警装置，其中：
5.所述第一继电器的第一线圈与所述电流互感器串联连接形成第一组件，所述第一继电器的第一常开触点与所述第二继电器的第二线圈串联连接形成第二组件，所述第二继电器的第二常开触点与所述报警装置串联连接形成第三组件；
6.所述第一组件、所述第二组件和所述第三组件并联连接形成检测电路；
7.所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路。
8.在一种可能的实施方式中，所述报警装置包括警示灯和音频设备。
9.在一种可能的实施方式中，还包括断路电路，所述断路电路包括行程开关、第三继电器和第四继电器；
10.所述行程开关与所述第三继电器的第三线圈串联连接形成第四组件，所述第三继电器的第三常闭触点与所述第二继电器的第二常开触点、所述第四继电器的第四线圈串联连接形成第五组件，所述第四继电器的第四常闭触点与供电开关串联连接；
11.所述第四组件和所述第五组件并联连接形成所述断路电路；
12.所述电源与所述断路电路串联连接。
13.本实用新型的第二方面，提供了一种薄膜设备，包括机体和设置在机体中的电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器、第一继电器、第二继电器和报警装置，其中：
14.所述第一继电器的第一线圈与所述电流互感器串联连接形成第一组件，所述第一继电器的第一常开触点与所述第二继电器的第二线圈串联连接形成第二组件，所述第二继电器的第二常开触点与所述报警装置串联连接形成第三组件；
15.所述第一组件、所述第一组件和所述第三组件并联连接形成检测电路；
16.所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路；
17.所述报警装置设置在机体的外部。
18.在一种可能的实施方式中，所述报警装置包括警示灯和音频设备。
19.在一种可能的实施方式中，所述薄膜设备还包括机盖和断路电路，所述机盖可旋转地设置在所述机体上；
20.所述断路电路包括行程开关、第三继电器和第四继电器；
21.所述行程开关与所述第三继电器的第三线圈串联连接形成第四组件，所述第三继电器的第三常闭触点与所述第二继电器的第二常开触点、所述第四继电器的第四线圈串联连接形成第五组件，所述第四继电器的第四常闭触点与机体的供电开关串联连接；
22.所述第四组件和所述第五组件并联连接形成所述断路电路；
23.所述电源与所述断路电路串联连接，所述行程开关的触发部设置在所述机体和所述机盖之间。
24.在一种可能的实施方式中，所述行程开关包括微动开关。
25.在一种可能的实施方式中，所述机盖和所述机体之间设有密封装置。
26.在一种可能的实施方式中，所述密封装置包括密封橡胶条。
27.相对于现有技术而言，本技术具有以下有益效果：本技术的薄膜设备高压保护装置具有电压检测报警电路，在打开薄膜设备的机盖后，如果薄膜设备的工作舱室内存在高压，可通过电压检测报警电路中的电流互感器检测到工作舱室内的高压，从而给信号到第一继电器的第一线圈，使得第一继电器的第一常开触点闭合，进而使得与第一继电器的第一常开触点串联的第二继电器的第二线圈得电，进而使得第二继电器的第二常开触点闭合使得与第二继电器的常开触点串联的报警装置工作，通过报警装置的声音和/或灯光提示操作人员注意安全；还可进一步通过与电压检测报警电路串联的断路电路切断机体的电源，从而达到消除高压的目的。本实用新型可以有效避免薄膜设备的操作人员触电的风险。
附图说明
28.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
29.图1为本技术的薄膜设备高压保护装置的电路图；
30.图2为本技术的薄膜设备的结构正视图；
31.图3为本技术的薄膜设备的结构左视图；
32.图标：1-行程开关、2-电流互感器、3-报警装置、4-供电开关、5-薄膜机、51-机盖、52-机体、k1-第一继电器、k11-第一线圈、k12-第一常开触点、k2-第二继电器、k21-第二线圈、k122-第二常开触点、k3-第三继电器、k31-第三线圈、k32-第三常闭触点、k4-第四继电器、k41-第四线圈、k42
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第四常闭触点。
具体实施方式
33.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
34.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
35.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
36.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
37.此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
38.在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
39.下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。
40.为了解决前述背景技术中的技术问题，参见图1、图2和图3，本技术实施例一提供一种薄膜设备高压保护装置，包括电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器2、第一继电器k1、第二继电器 k2和报警装置3，其中：
41.所述第一继电器k1的第一线圈k11与所述电流互感器2串联连接形成第一组件，所述第一检测组件是本装置的信号输入端。电流互感器2设置在薄膜机5的工作舱室中，当电流互感器2检测到工作舱室中存在高压时，电流互感器2形成通路，使得第一继电器k1的第一线圈k11得电，从而使得第一继电器k1的第一常开触点k12闭合。
42.所述第一继电器k1的第一常开触点k12与所述第二继电器k2的第二线圈k21串联连接形成第二组件，当上述第一继电器k1的第一常开触点 k12闭合后，与第一继电器k1的第一常开触点k12串联的第二继电器k2 的第二线圈k21得电，从而使得第二继电器k2的第二常开触点k22闭合。
43.所述第二继电器k2的第二常开触点k22与所述报警装置3串联连接形成第三组件，当上述第二继电器k2的第二常开触点k22闭合后，与第二继电器k2的第二常开触点k22串联的报警装置3得电，从而使得报警装置3工作。所述报警装置用以警示操作人员注意安全，所述报警装置可以包括，但不限于，视觉警示装置，例如警示灯光标牌、爆闪灯或led灯等；所述报警装置还可以包括，但不限于，听觉警示装置，例如蜂鸣器、扬声器等音频设备。
44.所述第一组件、所述第二组件和所述第三组件并联连接形成检测电路，用以检测薄膜机的工作舱室内是否存在高压。
45.所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路，用以对薄膜机的工作舱室存在高压的情况进行报警。
46.在一种可能的实施方式中，所述薄膜设备高压保护装置还包括断路电路，所述断路电路包括行程开关1、第三继电器k3和第四继电器k4；
47.所述行程开关1与所述第三继电器k3的第三线圈k31串联连接形成第四组件，行程开关1用以检测薄膜机5的机盖51是否打开，所述行程开关1可以包括，但不限于，微动开关。
48.所述第三继电器k3的第三常闭触点k32与所述第二继电器k2的第二常开触点k22、所述第四继电器k4的线圈串联连接形成第五组件，所述第四继电器k4的常闭触点与供电开关4串联连接；
49.所述第四组件和所述第五组件并联连接形成所述断路电路；
50.所述电源与所述断路电路串联连接。
51.当薄膜机5的工作舱室中存在高压时，在打开机盖51的过程中，行程开关1形成开路，使得与行程开关1串联的第三继电器k3的第三线圈k31 不得电，从而使得第三继电器k3的第三常闭触点k32闭合；在薄膜机5 的工作舱室内存在高压的情况下，第二继电器k2的第二常开触点k22闭合，从而使得第三继电器k3的第三常闭触点k32与第四继电器k4的线圈通过第二继电器k2的第二常开触点k22形成通路，进而使得第四继电器 k4的第四线圈k41得电，进而使得与第四继电器k4的第四常闭触点k42 断开，使得与第四继电器k4的第四常闭触点k42串联的薄膜机5的供电电路断路，薄膜机5失电停止工作。
52.上述断路电路能在打开薄膜机5的机盖51的情况下，当薄膜机5的工作舱室中存在高压时，断路电路能够及时切断薄膜机5的供电电路，保障操作人员的生命安全，也可通过薄膜机5的供电开关4强制切断薄膜机5 的电源。
53.当上述断路电路与电压检测报警电路并联连接时，本技术的薄膜设备高压保护装置具有在机盖51打开情况下切断薄膜机5的高压、在机盖51 关闭情况下高压报警的功能。
54.在本技术的实施例2，参见图1至3，提供一种薄膜设备5，包括机体 52和设置在机体52中的电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器2、第一继电器k1、第二继电器k2和报警装置3，其中：
55.所述第一继电器k1的第一线圈k11与所述电流互感器2串联连接形成第一组件，所述第一检测组件是本装置的信号输入端。电流互感器2设置在薄膜机5的工作舱室中，当电流互感器2检测到工作舱室中存在高压时，电流互感器2形成通路，使得第一继电器k1的第一线圈k11得电，从而使得第一继电器k1的第一常开触点k12闭合。
56.所述第一继电器k1的第一常开触点k12与所述第二继电器k2的第二线圈k21串联连接形成第二组件，当上述第一继电器k1的第一常开触点 k12闭合后，与第一继电器k1的第一常开触点k12串联的第二继电器k2 的第二线圈k21得电，从而使得第二继电器k2的第二常开触点k22闭合。
57.所述第二继电器k2的第二常开触点k22与所述报警装置3串联连接形成第三组件，当上述第二继电器k2的第二常开触点k22闭合后，与第二继电器k2的第二常开触点k22串联的报警装置3得电，从而使得报警装置3工作。所述报警装置用以警示操作人员注意安全，所述报警装置可以包括，但不限于，视觉警示装置，例如警示灯光标牌、爆闪灯或led灯等；所述报警装置还可以包括，但不限于，听觉警示装置，例如蜂鸣器、扬声器等音频设备。
58.所述第一组件、所述第二组件和所述第三组件并联连接形成检测电路，用以检测薄膜机的工作舱室内是否存在高压。
59.所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路，用以对薄膜机的工作舱室存在高压的情况进行报警。所述报警装置设置在机体 52的外部。
60.在一种可能的实施方式中，所述薄膜设备还包括机盖51和断路电路，所述机盖51可旋转地设置在所述机体52上；
61.所述断路电路包括行程开关1、第三继电器k3和第四继电器k4；
62.所述行程开关1与所述第三继电器k3的第三线圈k31串联连接形成第四组件，行程开关1用以检测薄膜机5的机盖51是否打开，所述行程开关1可以包括，但不限于，微动开关；所述行程开关1的触发部设置在所述机体52和所述机盖51之间。
63.所述第三继电器k3的第三常闭触点k32与所述第二继电器k2的第二常开触点k22、所述第四继电器k4的第四线圈k41串联连接形成第五组件，所述第四继电器k4的常闭触点k42与机体52的供电开关4串联连接；
64.所述第四组件和所述第五组件并联连接形成所述断路电路；
65.所述电源与所述断路电路串联连接，为断路电路供电。
66.当薄膜机5的工作舱室中存在高压时，在打开机盖51的过程中，行程开关1形成开路，使得与行程开关1串联的第三继电器k3的第三线圈k31 不得电，从而使得第三继电器k3的第三常闭触点k32闭合；在薄膜机5 的工作舱室内存在高压的情况下，第二继电器k2的第二常开触点k22闭合，从而使得第三继电器k3的第三常闭触点k32与第四继电器k4的第四线圈k41通过第二继电器k2的第二常开触点k22形成通路，进而使得第四继电器k4的第四线圈k41得电，进而使得与第四继电器k4的常闭触点 k42断开，使得与第四继电器k4的常闭触点k42串联的薄膜机5的供电电路断路，薄膜机5失电停止工作。
67.上述断路电路能在打开薄膜机5的机盖51的情况下，当薄膜机5的工作舱室中存在高压时，断路电路能够及时切断薄膜机5的供电电路，保障操作人员的生命安全，也可通过薄膜机5的供电开关4强制切断薄膜机5 的电源。
68.当上述断路电路与电压检测报警电路并联连接时，本技术的薄膜设备高压保护装置具有在机盖51打开情况下切断薄膜机5的高压、在机盖51 关闭情况下高压报警的功能。
69.由于在机盖51和机体52之间设置了行程开关1的触发部，触发部的存在会导致机盖51和机体52之间存在空隙，为了提高薄膜设备5的密封性，在一种可能的实施方式中，所述机盖51和所述机体52之间设有密封装置。所述密封装置可以包括，但不限于，密封橡胶条、海绵条或密封帘等。
70.综上所述，本技术的薄膜设备高压保护装置具有电压检测报警电路，在打开薄膜设备的机盖后，如果薄膜设备的工作舱室内存在高压，可通过电压检测报警电路中的电流互感器检测到工作舱室内的高压，从而给信号到第一继电器的第一线圈，使得第一继电器的第一常开触点闭合，进而使得与第一继电器的第一常开触点串联的第二继电器的第二线圈得电，进而使得第二继电器的第二常开触点闭合使得与第二继电器的常开触点串联的报警装置工作，通过报警装置的声音和/或灯光提示操作人员注意安全；还可进一步通过与电压检测报警电路串联的断路电路切断机体的电源，从而达到消除高压的目的。本实用新型可以有效避免薄膜设备的操作人员触电的风险。
71.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
72.以上所述，仅为本技术的各种实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

技术特征：

1.一种薄膜设备高压保护装置，其特征在于，包括电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器(2)、第一继电器(k1)、第二继电器(k2)和报警装置(3)，其中：所述第一继电器(k1)的第一线圈(k11)与所述电流互感器(2)串联连接形成第一组件，所述第一继电器(k1)的第一常开触点(k12)与所述第二继电器(k2)的第二线圈(k21)串联连接形成第二组件，所述第二继电器(k2)的第二常开触点(k22)与所述报警装置(3)串联连接形成第三组件；所述第一组件、所述第二组件和所述第三组件并联连接形成检测电路；所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路。2.根据权利要求1所述的薄膜设备高压保护装置，其特征在于，所述报警装置(3)包括警示灯和音频设备。3.根据权利要求1所述的薄膜设备高压保护装置，其特征在于，还包括断路电路，所述断路电路包括行程开关(1)、第三继电器(k3)和第四继电器(k4)；所述行程开关(1)与所述第三继电器(k3)的第三线圈(k31)串联连接形成第四组件，所述第三继电器(k3)的第三常闭触点(k32)与所述第二继电器(k2)的第二常开触点(k22)、所述第四继电器(k4)的第四线圈(k41)串联连接形成第五组件，所述第四继电器(k4)的第四常闭触点(k42)与供电开关(4)串联连接；所述第四组件和所述第五组件并联连接形成所述断路电路；所述电源与所述断路电路串联连接。4.根据权利要求3所述的薄膜设备高压保护装置，其特征在于，所述行程开关(1)包括微动开关。5.一种薄膜设备(5)，其特征在于，包括机体(52)和设置在机体(52)中的电压检测报警电路，所述电压检测报警电路包括电源、电流互感器(2)、第一继电器(k1)、第二继电器(k2)和报警装置(3)，其中：所述第一继电器(k1)的第一线圈(k11)与所述电流互感器(2)串联连接形成第一组件，所述第一继电器(k1)的第一常开触点(k12)与所述第二继电器(k2)的第二线圈(k21)串联连接形成第二组件，所述第二继电器(k2)的第二常开触点(k22)与所述报警装置(3)串联连接形成第三组件；所述第一组件、所述第一组件和所述第三组件并联连接形成检测电路；所述电源与所述检测电路串联连接形成所述电压检测报警电路；所述报警装置设置在机体(52)的外部。6.根据权利要求5所述的薄膜设备，其特征在于，所述报警装置(3)包括警示灯和音频设备。7.根据权利要求5所述的薄膜设备，其特征在于，所述薄膜设备还包括机盖(51)和断路电路，所述机盖(51)可旋转地设置在所述机体(52)上；所述断路电路包括行程开关(1)、第三继电器(k3)和第四继电器(k4)；所述行程开关(1)与所述第三继电器(k3)的第三线圈(k31)串联连接形成第四组件，所述第三继电器(k3)的第三常闭触点(k32)与所述第二继电器(k2)的第二常开触点(k22)、所述第四继电器(k4)的第四线圈(k41)串联连接形成第五组件，所述第四继电器(k4)的第四常闭触点(k42)与机体(52)的供电开关(4)串联连接；
所述第四组件和所述第五组件并联连接形成所述断路电路；所述电源与所述断路电路串联连接，所述行程开关(1)的触发部设置在所述机体(52)和所述机盖(51)之间。8.根据权利要求7所述的薄膜设备，其特征在于，所述行程开关(1)包括微动开关。9.根据权利要求7所述的薄膜设备，其特征在于，所述机盖(51)和所述机体(52)之间设有密封装置。10.根据权利要求9所述的薄膜设备，其特征在于，所述密封装置包括密封橡胶条。

技术总结

本申请本申请涉及半导体制造设备技术领域，提供一种薄膜设备高压保护装置及薄膜设备，可以避免打开薄膜设备的舱门时，工作人员触电的风险。薄膜设备高压保护装置，包括用以检测高压并报警的电压检测报警电路，所述电压检测报警电路由电源、电流互感器、第一继电器、第二继电器和报警装置电连接形成。薄膜设备，包括机体和设置在机体中的电压检测报警电路。包括机体和设置在机体中的电压检测报警电路。包括机体和设置在机体中的电压检测报警电路。