一种清洗机用硅片的水分干燥装置的制作方法

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1.本实用新型涉及硅片技术领域，尤其涉及一种清洗机用硅片的水分干燥装置。

背景技术：

2.硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前，采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物，以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程，在硅片清洗完后，硅片表面会残留水分，因此，需要对硅片进行水分干燥。
3.目前，现有的硅片的水分干燥装置，在使用过程中，烘干效果差，容纳的硅片较少，不能够多面同时进行烘干，还需要多次进行烘干，工作效率低，影响硅片的干燥效果。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种清洗机用硅片的水分干燥装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种清洗机用硅片的水分干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱的两侧内壁均固定连接有侧板，两个侧板之间的底部固定连接有底板，侧板和底板与干燥箱的内壁之间设有风腔，所述侧板的一侧设有矩形出风孔，侧板的一侧设有多个第一出风口，底板的顶部设有多个第二出风口，所述干燥箱的底部嵌接有多个风机，干燥箱的两侧内壁均固定连接有两个安装板，两个安装板之间固定连接有多个电加热丝，干燥箱的底部内壁设有集水槽，集水槽位于底板的下方，底板底部的两侧均固定连接有分隔板。
7.进一步的，所述干燥箱的底部外壁均固定连接有多个支撑座。
8.进一步的，两个所述支撑座之间固定连接有防尘网。
9.进一步的，所述支撑座的底部粘接有防滑垫。
10.进一步的，所述集水槽的一端插接有排水管，排水管的另一端穿过干燥箱。
11.进一步的，所述干燥箱顶部的两侧均设有滑槽。
12.本实用新型的有益效果为：
13.1、通过侧板上设有矩形出风孔和第一出风口与底板上设有第二出风口的设置能够多面对硅片进行干燥，从而提高硅片的干燥效率，节省时间。
14.2、通过将硅片放置在花篮力进行干燥的设置能够同时对多个硅片进行干燥，同时便于的硅片的拿取，方便快捷。
15.3、通过风机的底部设有防尘网的设置能够防止灰尘进去干燥箱，从而防止灰尘吹在硅片上，以免对硅片进行造成污染。
附图说明
16.图1为本实用新型提出的一种清洗机用硅片的水分干燥装置的立体结构示意图；
17.图2为本实用新型提出的一种清洗机用硅片的水分干燥装置的剖视结构示意图；
18.图3为本实用新型提出的一种清洗机用硅片的水分干燥装置的仰视结构示意图。
19.图中：1、干燥箱；2、侧板；3、底板；4、风腔；5、矩形出风孔；6、第一出风口；7、第二出风口；8、风机；9、支撑座；10、安装板；11、电加热丝；12、分隔板；13、集水槽；14、排水管；15、滑槽；16、防尘网；17、防滑垫。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
21.参照图1-图3，一种清洗机用硅片的水分干燥装置，包括干燥箱 1，干燥箱1的两侧内壁均通过螺栓固定有侧板2，两个侧板2之间的底部焊接有底板3，侧板2和底板3与干燥箱1的内壁之间设有风腔4，侧板2的一侧设有矩形出风孔5，侧板2的一侧设有多个第一出风口6，底板3的顶部设有多个第二出风口7，中间的风从第二出风口7吹向硅片，对硅片进行干燥，干燥箱1的底部嵌接有多个风机 8，干燥箱1的两侧内壁均通过螺栓固定有两个安装板10，两个安装板10之间通过螺栓固定有多个电加热丝11，两侧的风经过电加热丝 11对风进行加热，然后，从矩形出风孔5和第一出风口6喷向硅片，对硅片进行干燥，干燥箱1的底部内壁设有集水槽13，集水槽13位于底板3的下方，底板3底部的两侧均焊接有分隔板12，在分隔板 12的作用下使得风从两侧和中间向上吹动。
22.干燥箱1的底部外壁均通过螺栓固定有多个支撑座9，支撑座9 对干燥箱1进行支撑，两个支撑座9之间通过螺栓固定有防尘网16，防尘网16防止灰尘进去干燥箱1，以免对硅片造成污染，支撑座9 的底部粘接有防滑垫17，防滑垫17防止支撑座9的打滑，集水槽13 的一端插接有排水管14，排水管14的另一端穿过干燥箱1，集水槽 13从排水管14排出，干燥箱1顶部的两侧均设有滑槽15。
23.本实施例工作原理：使用时，首先，装有硅片的花篮滑进滑槽 15内，从而将花篮放置在干燥箱1上，然后，在风机8的作用下使得风向上吹动，再在分隔板12的作用下使得风从两侧和中间向上吹动，中间的风从第二出风口7吹向硅片，对硅片进行干燥，两侧的风经过电加热丝11对风进行加热，然后，从矩形出风孔5和第一出风口6喷向硅片，同时对硅片进行干燥，硅片上残留的水落在集水槽 13进行收集，最后，从排水管14排出。
24.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种清洗机用硅片的水分干燥装置，包括干燥箱(1)，其特征在于，所述干燥箱(1)的两侧内壁均固定连接有侧板(2)，两个侧板(2)之间的底部固定连接有底板(3)，侧板(2)和底板(3)与干燥箱(1)的内壁之间设有风腔(4)，所述侧板(2)的一侧设有矩形出风孔(5)，侧板(2)的一侧设有多个第一出风口(6)，底板(3)的顶部设有多个第二出风口(7)，所述干燥箱(1)的底部嵌接有多个风机(8)，干燥箱(1)的两侧内壁均固定连接有两个安装板(10)，两个安装板(10)之间固定连接有多个电加热丝(11)，干燥箱(1)的底部内壁设有集水槽(13)，集水槽(13)位于底板(3)的下方，底板(3)底部的两侧均固定连接有分隔板(12)。2.根据权利要求1所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置，其特征在于，所述干燥箱(1)的底部外壁均固定连接有多个支撑座(9)。3.根据权利要求2所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置，其特征在于，两个所述支撑座(9)之间固定连接有防尘网(16)。4.根据权利要求2所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置，其特征在于，所述支撑座(9)的底部粘接有防滑垫(17)。5.根据权利要求1所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置，其特征在于，所述集水槽(13)的一端插接有排水管(14)，排水管(14)的另一端穿过干燥箱(1)。6.根据权利要求1所述的一种清洗机用硅片的水分干燥装置，其特征在于，所述干燥箱(1)顶部的两侧均设有滑槽(15)。

技术总结

本实用新型公开了一种清洗机用硅片的水分干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱的两侧内壁均固定连接有侧板，两个侧板之间的底部固定连接有底板，侧板和底板与干燥箱的内壁之间设有风腔，所述侧板的一侧设有矩形出风孔，侧板的一侧设有多个第一出风口，底板的顶部设有多个第二出风口，所述干燥箱的底部嵌接有多个风机，干燥箱的两侧内壁均固定连接有两个安装板，两个安装板之间固定连接有多个电加热丝，干燥箱的底部内壁设有集水槽，集水槽位于底板的下方。本实用新型通过侧板上设有矩形出风孔和第一出风口与底板上设有第二出风口的设置能够多面对硅片进行干燥，从而提高硅片的干燥效率。效率。效率。