一种离子注入机用真空系统改造装置的制作方法

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1.本实用新型涉及真空系统技术领域，具体为一种离子注入机用真空系统改造装置。

背景技术：

2.离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等，而离子注入机的真空系统，是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、过滤总成等组成的成套真空系统，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
3.离子注入机的真空系统中需要用到plc程序控制器，现有plc程序控制器在使用时，存在散热效率低、拆装不便、不具备防尘的问题，导致plc程序控制器在使用时，会由于内部温度过高，出现短路的问题，拆装不便不仅不便于使用者对plc程序控制器进行维护，而且还会影响到工作人员的工作效率，进而降低了plc程序控制器的实用性。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种离子注入机用真空系统改造装置，具备散热效率高、拆装便利和防尘的优点，解决了现有plc程序控制器在使用时，存在散热效率低、拆装不便、不具备防尘的问题，导致plc程序控制器在使用时，会由于内部温度过高，出现短路的问题，拆装不便不仅不便于使用者对plc程序控制器进行维护，而且还会影响到工作人员的工作效率，进而降低了plc程序控制器实用性的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子注入机用真空系统改造装置，包括壳体，所述壳体的正表面开设有安装槽，所述安装槽的内腔滑动连接有plc程序控制器本体，所述plc程序控制器本体右侧的顶部与底部均开设有定位槽，所述定位槽的内腔滑动连接有定位块，所述定位块的一侧贯穿至定位槽的外侧并与安装槽的内壁固定连接，所述安装槽内腔的顶部与底部均开设有出风孔，所述plc程序控制器本体的顶部与底部均开设有散热孔，所述壳体的背表面固定连接有风机，所述风机的出风管贯穿至壳体的内腔，所述壳体正表面的顶部与底部均固定连接有块体，所述块体的内腔滑动连接有活动块，所述活动块的一侧固定连接有两个呈对称设置的固定块，所述固定块远离活动块的一侧贯穿至块体的外侧，所述块体内腔的一侧固定连接有弹簧，所述风机的表面套设有套管，所述套管的一侧与壳体固定连接，所述套管的内腔固定连接有滤网。
6.优选的，所述块体内腔的两侧均开设有导向槽，所述导向槽的内腔滑动连接有导向块，所述导向块的一侧与活动块固定连接。
7.优选的，所述活动块远离固定块的一侧开设有弹簧槽，所述弹簧的一端贯穿至弹簧槽的内腔并与弹簧槽的内壁固定连接。
8.优选的，所述plc程序控制器本体的正表面固定连接有散热翅片，所述散热翅片的
形状为方形。
9.优选的，所述活动块的正表面固定连接有推块，所述推块的一侧贯穿至块体的外侧。
10.优选的，所述壳体顶部与底部的右侧固定连接有安装板，所述安装板的表面开设有通孔。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.1、本实用新型通过风机吸取外界的空气，空气顺着壳体的内腔运动，然后通过出风孔排出，空气顺着出风孔进入散热孔的内部，从而对壳体的内部进行降温，从而达到高效散热和便于安装的目的，使得该离子注入机用真空系统改造装置，具备散热效率高、拆装便利和防尘的优点，在实际使用过程中，通过安装槽、定位槽、定位块、风机和固定块的配合使用，不仅能够实现高效散热的效果，而且还能够便于使用者将plc程序控制器本体拆除进行维护，通过套管和滤网还能够起到防尘效果，避免壳体的内部进入大量的灰尘，进而延长plc程序控制器本体的使用寿命，提高了plc程序控制器本体的实用性，解决了现有plc程序控制器在使用时，存在散热效率低、拆装不便、不具备防尘的问题，导致plc程序控制器在使用时，会由于内部温度过高，出现短路的问题，拆装不便不仅不便于使用者对plc程序控制器进行维护，而且还会影响到工作人员的工作效率，进而降低了plc程序控制器实用性的问题。
13.2、本实用新型通过导向槽和导向块的配合使用，能够对活动块的位置起到限定作用，从而使得活动块运动的更加稳定，通过弹簧槽的设置，能够对弹簧起到收纳作用，从而增加活动块的活动空间，通过散热翅片的设置，能够加速plc程序控制器本体的散热，从而防止plc程序控制器本体出现短路的问题，通过推块的设置，能够便于使用者推动活动块进行移动，从而便于使用者对plc程序控制器本体进行拆卸，通过安装板和通孔的配合使用，能够便于使用者对壳体进行安装，从而便于风机对plc程序控制器本体进行降温。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型结构的立体剖视图一；
16.图3为本实用新型局部的结构剖面图；
17.图4为本实用新型plc程序控制器本体结构的立体示意图；
18.图5为本实用新型结构的立体剖视图二。
19.图中：1、壳体；2、安装槽；3、plc程序控制器本体；4、定位槽；5、定位块；6、出风孔；7、散热孔；8、风机；9、块体；10、活动块；11、固定块；12、导向槽；13、导向块；14、弹簧；15、弹簧槽；16、散热翅片；17、推块；18、安装板；19、套管；20、滤网。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如附图1至附图5所示：本实用新型提供一种离子注入机用真空系统改造装置，包括壳体1，壳体1的正表面开设有安装槽2，安装槽2的内腔滑动连接有plc程序控制器本体3，plc程序控制器本体3右侧的顶部与底部均开设有定位槽4，定位槽4的内腔滑动连接有定位块5，定位块5的一侧贯穿至定位槽4的外侧并与安装槽2的内壁固定连接，安装槽2内腔的顶部与底部均开设有出风孔6，plc程序控制器本体3的顶部与底部均开设有散热孔7，壳体1的背表面固定连接有风机8，壳体1顶部与底部的右侧固定连接有安装板18，安装板18的表面开设有通孔，通过安装板18和通孔的配合使用，能够便于使用者对壳体1进行安装，从而便于风机8对plc程序控制器本体3进行降温，风机8的出风管贯穿至壳体1的内腔，壳体1正表面的顶部与底部均固定连接有块体9，块体9的内腔滑动连接有活动块10，活动块10的正表面固定连接有推块17，推块17的一侧贯穿至块体9的外侧，通过推块17的设置，能够便于使用者推动活动块10进行移动，从而便于使用者对plc程序控制器本体3进行拆卸，活动块10的一侧固定连接有两个呈对称设置的固定块11，固定块11远离活动块10的一侧贯穿至块体9的外侧，块体9内腔的一侧固定连接有弹簧14，风机8的表面套设有套管19，套管19的一侧与壳体1固定连接，套管19的内腔固定连接有滤网20。
22.参考如图3，块体9内腔的两侧均开设有导向槽12，导向槽12的内腔滑动连接有导向块13，导向块13的一侧与活动块10固定连接，通过导向槽12和导向块13的配合使用，能够对活动块10的位置起到限定作用，从而使得活动块10运动的更加稳定。
23.参考如图3，活动块10远离固定块11的一侧开设有弹簧槽15，弹簧14的一端贯穿至弹簧槽15的内腔并与弹簧槽15的内壁固定连接，通过弹簧槽15的设置，能够对弹簧14起到收纳作用，从而增加活动块10的活动空间。
24.参考如图1和图4，plc程序控制器本体3的正表面固定连接有散热翅片16，散热翅片16的形状为方形，通过散热翅片16的设置，能够加速plc程序控制器本体3的散热，从而防止plc程序控制器本体3出现短路的问题。
25.工作原理：本实用新型使用时，使用者扣动推块17进行移动，推块17带动活动块10滑动，活动块10带动导向块13在导向槽12的内腔滑动，活动块10带动弹簧槽15运动，弹簧槽15与块体9的内壁配合对弹簧14进行压缩，活动块10带动固定块11进行运动，固定块11收缩至块体9的内部，使用者将plc程序控制器本体3一侧的定位槽4对安装槽2内腔的定位块5插入，plc程序控制器本体3进入安装槽2的内部后，使用者松开推块17，通过弹簧14的弹力带动活动块10复位，活动块10带动固定块11抵住plc程序控制器本体3，从而达到对plc程序控制器本体3进行安装的目的，使用者启动风机8，风机8吸取外界的空气，空气顺着壳体1的内腔运动，然后通过出风孔6排出，空气顺着出风孔6进入散热孔7的内部，从而对壳体1的内部进行降温，从而达到高效散热和便于安装的目的。
26.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，
可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种离子注入机用真空系统改造装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的正表面开设有安装槽(2)，所述安装槽(2)的内腔滑动连接有plc程序控制器本体(3)，所述plc程序控制器本体(3)右侧的顶部与底部均开设有定位槽(4)，所述定位槽(4)的内腔滑动连接有定位块(5)，所述定位块(5)的一侧贯穿至定位槽(4)的外侧并与安装槽(2)的内壁固定连接，所述安装槽(2)内腔的顶部与底部均开设有出风孔(6)，所述plc程序控制器本体(3)的顶部与底部均开设有散热孔(7)，所述壳体(1)的背表面固定连接有风机(8)，所述风机(8)的出风管贯穿至壳体(1)的内腔，所述壳体(1)正表面的顶部与底部均固定连接有块体(9)，所述块体(9)的内腔滑动连接有活动块(10)，所述活动块(10)的一侧固定连接有两个呈对称设置的固定块(11)，所述固定块(11)远离活动块(10)的一侧贯穿至块体(9)的外侧，所述块体(9)内腔的一侧固定连接有弹簧(14)，所述风机(8)的表面套设有套管(19)，所述套管(19)的一侧与壳体(1)固定连接，所述套管(19)的内腔固定连接有滤网(20)。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置，其特征在于：所述块体(9)内腔的两侧均开设有导向槽(12)，所述导向槽(12)的内腔滑动连接有导向块(13)，所述导向块(13)的一侧与活动块(10)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置，其特征在于：所述活动块(10)远离固定块(11)的一侧开设有弹簧槽(15)，所述弹簧(14)的一端贯穿至弹簧槽(15)的内腔并与弹簧槽(15)的内壁固定连接。4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置，其特征在于：所述plc程序控制器本体(3)的正表面固定连接有散热翅片(16)，所述散热翅片(16)的形状为方形。5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置，其特征在于：所述活动块(10)的正表面固定连接有推块(17)，所述推块(17)的一侧贯穿至块体(9)的外侧。6.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置，其特征在于：所述壳体(1)顶部与底部的右侧固定连接有安装板(18)，所述安装板(18)的表面开设有通孔。

技术总结

本实用新型涉及真空系统技术领域，尤其为一种离子注入机用真空系统改造装置，包括壳体，所述壳体的正表面开设有安装槽，所述安装槽的内腔滑动连接有PLC程序控制器本体，所述PLC程序控制器本体右侧的顶部与底部均开设有定位槽，所述定位槽的内腔滑动连接有定位块。本实用新型具备散热效率高、拆装便利和防尘的优点，在实际使用过程中，通过安装槽、定位槽、定位块、风机和固定块的配合使用，不仅能够实现高效散热的效果，而且还能够便于使用者将PLC程序控制器本体拆除进行维护，通过套管和滤网还能够起到防尘效果，避免壳体的内部进入大量的灰尘，进而延长PLC程序控制器本体的使用寿命，提高了PLC程序控制器本体的实用性。提高了PLC程序控制器本体的实用性。提高了PLC程序控制器本体的实用性。