测量晶圆片厚度的自动检测装置的制作方法

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1.本实用新型属于晶圆加工技术领域，更具体地说，特别涉及测量晶圆片厚度的自动检测装置。

背景技术：

2.在晶圆磨削减薄加工过程中，磨削后的晶圆厚度偏差既对晶圆的生产有着至关重要的影响，也是反映晶圆加工质量的重要指标；目前的晶圆检测装置，不能自动检测，增加了工作人员的劳动强度，同时降低了检测效率，且不能保证待检测的晶圆处于装置的中心处，降低了检测精度，并且检测后的良品与不良品不能自动分类收集，不便于使用。
3.于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供测量晶圆片厚度的自动检测装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供测量晶圆片厚度的自动检测装置，以解决现有不能自动检测，不能保证待检测的晶圆处于装置的中心处，检测后的良品与不良品不能自动分类收集的问题。
5.本实用新型测量晶圆片厚度的自动检测装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
6.测量晶圆片厚度的自动检测装置，包括传送机构；所述传送机构的顶部安装有导流组件，且导流组件上安装有连接组件；检测组件，所述检测组件安装在传送机构的顶部，且传送机构上安装有控制箱；驱动机构，所述驱动机构安装在传送机构上，且驱动机构的顶部安装有收集装置；所述导流组件包括：u型框，u型框与传送机构上的安装架固定连接；导向杆，导向杆共设有四个，且四个导向杆滑动安装在u型框上；导流板，导流板共设有两个，且两个导流板固定安装在四个导向杆的内端；丝杆，丝杆与前侧导流板转动连接，且丝杆还与u型框螺纹连接。
7.进一步的，所述驱动机构包括：滑轨，滑轨与安装架固定连接；限位板，限位板共设有两个，且两个限位板固定安装在滑轨的前后两侧；丝杠，丝杠转动安装在两个限位板上。
8.进一步的，所述传送机构包括：安装架，安装架的底部为长方形板状结构；转棍，转棍共设有两个，且两个转棍转动安装在安装架上；传送带，传送带安装在两个转棍的外部；l型板，l型板固定安装在安装架的后侧；电机a，电机a固定安装在l型板的左侧，且电机a与左侧转棍连接。
9.进一步的，所述驱动机构还包括：伺服电机，伺服电机与前侧限位板固定连接，且伺服电机还与丝杠的前端连接，并且伺服电机与控制箱电性连接；滑块，滑块滑动安装在滑轨的内部，且滑块与丝杠螺纹连接。
10.进一步的，所述连接组件包括：齿条，齿条共设有两个，且两个齿条固定安装在两个导流板的顶部；连接轴，连接轴转动安装在u型框上；齿轮，齿轮固定安装在连接轴的外
部，且齿轮与两个齿条啮合连接。
11.进一步的，所述收集装置包括：安装板，安装板固定安装在滑块的顶部；收集盒，收集盒固定安装在安装板的顶部；隔板，隔板固定安装在收集盒的内部。
12.进一步的，所述检测组件包括：检测架，检测架与安装架固定连接；安装块，安装块固定安装在检测架的底部；检测仪本体，检测仪本体固定安装在安装块的底部，且检测仪本体与控制箱电性连接。
13.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
14.1、本实用新型因电机a固定安装在l型板的左侧，且电机a与左侧转棍连接，从而当工作人员启动电机a时，传送带顺时针转动，使得传送带顶部晶圆的自动移动，实现了晶圆的厚度自动检测，提高了检测效率，减轻了工作人员的劳动强度。
15.2、本实用新型因丝杆与前侧导流板转动连接，且丝杆还与u型框螺纹连接，从而当工作人员顺时针转动丝杆时，前侧导流板向内移动，又因两个齿条固定安装在两个导流板的顶部，且齿轮与两个齿条啮合连接，从而当工作人员顺时针转动丝杆时，两个导流板同时向内移动，便于对不同直径的晶圆使用，提高了装置的通用性，保证了晶圆检测时处于传送带的中心处，提高了检测精度。
16.3、本实用新型因检测仪本体与控制箱电性连接，且伺服电机与控制箱电性连接，从而使得伺服电机能够根据检测仪本体的检测结果自动旋转，又因隔板固定安装在收集盒的内部，进而实现了良品与不良品的分类收集，提高了晶圆的自动检测精度，减轻了工作人员的劳动强度。
附图说明
17.图1是本实用新型的立体结构示意图。
18.图2是本实用新型的后侧视角结构示意图。
19.图3是本实用新型传送机构的结构示意图。
20.图4是本实用新型导流组件的结构示意图。
21.图5是本实用新型导流组件的底部视角结构示意图。
22.图6是本实用新型图5中a区域的局部放大结构示意图。
23.图7是本实用新型检测组件的结构示意图。
24.图8是本实用新型驱动机构的结构示意图。
25.图9是本实用新型收集装置的结构示意图。
26.图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
27.1、传送机构；101、安装架；102、转棍；103、传送带；104、l型板；105、电机a；
28.2、导流组件；201、u型框；202、导向杆；203、导流板；204、丝杆；
29.3、连接组件；301、齿条；302、连接轴；303、齿轮；
30.4、检测组件；401、检测架；402、安装块；403、检测仪本体；
31.5、驱动机构；501、滑轨；502、限位板；503、丝杠；504、伺服电机；505、滑块；
32.6、收集装置；601、安装板；602、收集盒；603、隔板；
33.7、控制箱。
具体实施方式
34.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
35.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
36.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.实施例：
38.如附图1至附图9所示：
39.本实用新型提供测量晶圆片厚度的自动检测装置，包括传送机构1；传送机构1的顶部安装有导流组件2，且导流组件2上安装有连接组件3；检测组件4，检测组件4安装在传送机构1的顶部，且传送机构1上安装有控制箱7，并且控制箱7的内部设置有plc系统，驱动机构5，驱动机构5安装在传送机构1上，且驱动机构5的顶部安装有收集装置6。
40.如图3所示，传送机构1包括：安装架101，安装架101的底部为长方形板状结构；转棍102，转棍102共设有两个，且两个转棍102转动安装在安装架101上；传送带103，传送带103安装在两个转棍102的外部；l型板104，l型板104固定安装在安装架101的后侧；电机a105，电机a105固定安装在l型板104的左侧，且电机a105与左侧转棍102连接，其具体作用为：因电机a105固定安装在l型板104的左侧，且电机a105与左侧转棍102连接，从而当工作人员启动电机a105时，传送带103顺时针转动，使得传送带103顶部晶圆的自动移动，实现了晶圆的厚度自动检测，提高了检测效率，减轻了工作人员的劳动强度。
41.如图4至图6所示，导流组件2包括：u型框201，u型框201与传送机构1上的安装架101固定连接；导向杆202，导向杆202共设有四个，且四个导向杆202滑动安装在u型框201上；导流板203，导流板203共设有两个，且两个导流板203固定安装在四个导向杆202的内端；丝杆204，丝杆204与前侧导流板203转动连接，且丝杆204还与u型框201螺纹连接，连接组件3包括：齿条301，齿条301共设有两个，且两个齿条301固定安装在两个导流板203的顶部；连接轴302，连接轴302转动安装在u型框201上；齿轮303，齿轮303固定安装在连接轴302的外部，且齿轮303与两个齿条301啮合连接，其具体作用为：因丝杆204与前侧导流板203转动连接，且丝杆204还与u型框201螺纹连接，从而当工作人员顺时针转动丝杆204时，前侧导流板203向内移动，又因两个齿条301固定安装在两个导流板203的顶部，且齿轮303与两个齿条301啮合连接，从而当工作人员顺时针转动丝杆204时，两个导流板203同时向内移动，便于对不同直径的晶圆使用，提高了装置的通用性，保证了晶圆检测时处于传送带103的中心处，提高了检测精度。
42.如图7至图9所示，检测组件4包括：检测架401，检测架401与安装架101固定连接；
安装块402，安装块402固定安装在检测架401的底部；检测仪本体403，检测仪本体403固定安装在安装块402的底部，且检测仪本体403与控制箱7电性连接，并且检测仪本体403选用um6700型，驱动机构5包括：滑轨501，滑轨501与安装架101固定连接；限位板502，限位板502共设有两个，且两个限位板502固定安装在滑轨501的前后两侧；丝杠503，丝杠503转动安装在两个限位板502上；伺服电机504，伺服电机504与前侧限位板502固定连接，且伺服电机504还与丝杠503的前端连接，并且伺服电机504与控制箱7电性连接；滑块505，滑块505滑动安装在滑轨501的内部，且滑块505与丝杠503螺纹连接，收集装置6包括：安装板601，安装板601固定安装在滑块505的顶部；收集盒602，收集盒602固定安装在安装板601的顶部；隔板603，隔板603固定安装在收集盒602的内部，其具体作用为：因检测仪本体403与控制箱7电性连接，且伺服电机504与控制箱7电性连接，从而使得伺服电机504能够根据检测仪本体403的检测结果自动旋转，又因隔板603固定安装在收集盒602的内部，进而实现了良品与不良品的分类收集，提高了晶圆的自动检测精度，减轻了工作人员的劳动强度。
43.本实施例的具体使用方式与作用：
44.本实用新型使用时，首先工作人员通过丝杆204调整两个导流板203之间的距离，当工作人员顺时针转动丝杆204时，两个导流板203同时向内移动，便于对不同直径的晶圆使用，提高了装置的通用性，保证了晶圆检测时处于传送带103的中心处，提高了检测精度，之后将待检测的晶圆放置在传送带103的顶部左侧，然后启动电机a105，此时传送带103顺时针转动，使得传送带103顶部晶圆的自动移动，实现了晶圆的厚度自动检测，提高了检测效率，减轻了工作人员的劳动强度，伺服电机504能够根据检测仪本体403的检测结果自动旋转，因隔板603固定安装在收集盒602的内部，从而实现了良品与不良品的分类收集，提高了晶圆的自动检测精度，减轻了工作人员的劳动强度。
45.本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。
46.本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

技术特征：

1.测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：包括传送机构(1)；所述传送机构(1)的顶部安装有导流组件(2)，且导流组件(2)上安装有连接组件(3)；检测组件(4)，所述检测组件(4)安装在传送机构(1)的顶部，且传送机构(1)上安装有控制箱(7)；驱动机构(5)，所述驱动机构(5)安装在传送机构(1)上，且驱动机构(5)的顶部安装有收集装置(6)；所述导流组件(2)包括：u型框(201)，u型框(201)与传送机构(1)上的安装架(101)固定连接；导向杆(202)，导向杆(202)共设有四个，且四个导向杆(202)滑动安装在u型框(201)上；导流板(203)，导流板(203)共设有两个，且两个导流板(203)固定安装在四个导向杆(202)的内端；丝杆(204)，丝杆(204)与前侧导流板(203)转动连接，且丝杆(204)还与u型框(201)螺纹连接。2.如权利要求1所述测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：所述传送机构(1)包括：安装架(101)，安装架(101)的底部为长方形板状结构；转棍(102)，转棍(102)共设有两个，且两个转棍(102)转动安装在安装架(101)上；传送带(103)，传送带(103)安装在两个转棍(102)的外部；l型板(104)，l型板(104)固定安装在安装架(101)的后侧；电机a(105)，电机a(105)固定安装在l型板(104)的左侧，且电机a(105)与左侧转棍(102)连接。3.如权利要求1所述测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：所述连接组件(3)包括：齿条(301)，齿条(301)共设有两个，且两个齿条(301)固定安装在两个导流板(203)的顶部；连接轴(302)，连接轴(302)转动安装在u型框(201)上；齿轮(303)，齿轮(303)固定安装在连接轴(302)的外部，且齿轮(303)与两个齿条(301)啮合连接。4.如权利要求2所述测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：所述检测组件(4)包括：检测架(401)，检测架(401)与安装架(101)固定连接；安装块(402)，安装块(402)固定安装在检测架(401)的底部；检测仪本体(403)，检测仪本体(403)固定安装在安装块(402)的底部，且检测仪本体(403)与控制箱(7)电性连接。5.如权利要求2所述测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括：滑轨(501)，滑轨(501)与安装架(101)固定连接；限位板(502)，限位板(502)共设有两个，且两个限位板(502)固定安装在滑轨(501)的前后两侧；丝杠(503)，丝杠(503)转动安装在两个限位板(502)上。6.如权利要求5所述测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：所述驱动机构(5)还包括：伺服电机(504)，伺服电机(504)与前侧限位板(502)固定连接，且伺服电机(504)还与丝杠(503)的前端连接，并且伺服电机(504)与控制箱(7)电性连接；滑块(505)，滑块(505)滑动安装在滑轨(501)的内部，且滑块(505)与丝杠(503)螺纹连接。7.如权利要求6所述测量晶圆片厚度的自动检测装置，其特征在于：所述收集装置(6)包括：安装板(601)，安装板(601)固定安装在滑块(505)的顶部；收集盒(602)，收集盒(602)固定安装在安装板(601)的顶部；隔板(603)，隔板(603)固定安装在收集盒(602)的内部。

技术总结

本实用新型提供测量晶圆片厚度的自动检测装置，涉及晶圆加工技术领域，以解决现有不能自动检测，不能保证待检测的晶圆处于装置的中心处，检测后的良品与不良品不能自动分类收集的问题，包括传送机构；所述传送机构的顶部安装有导流组件，且导流组件上安装有连接组件；所述检测组件安装在传送机构的顶部，且传送机构上安装有控制箱；所述驱动机构安装在传送机构上，且驱动机构的顶部安装有收集装置；所述导流组件包括：U型框，U型框与传送机构上的安装架固定连接；本实用新型当工作人员顺时针转动丝杆时，两个导流板同时向内移动，便于对不同直径的晶圆使用，提高了装置的通用性，保证了晶圆检测时处于传送带的中心处，提高了检测精度。检测精度。检测精度。