滚筒电机(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910385498.0
自动干手器(22)申请日 2019.05.09
(71)申请人 德淮半导体有限公司
地址 223302 江苏省淮安市淮阴区长江东
路599号
(72)发明人 张鸣帆
(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
公司 11227
代理人 吴敏
行波进位加法器(51)Int.Cl.
B08B 1/04(2006.01)
G01R 31/26(2014.01)
(54)发明名称
(57)摘要
次数，当所述探针的工作次数达到预定值时，发
射清洁信号；所述驱动单元接收所述清洁信号，
样本制作并发射驱动信号；所述工作单元接收所述驱动信
号，并在所述驱动信号的控制下进行清洁。通过
检测单元、驱动单元的配合，使得工作单元进行
清洁工作，进行清洁的过程中，不需要人工进行
操作，节约了人力物力，
提高了清洁效率。权利要求书1页 说明书5页 附图1页CN 110328169 A 2019.10.15
C N 110328169
A
权 利 要 求 书1/1页CN 110328169 A
1.一种探针清洁装置，其特征在于，包括：
监控单元，监控探针工作次数，当所述探针的工作次数达到预定值时，发射清洁信号；
驱动单元，接收所述清洁信号，并发射驱动信号；
jumper2工作单元，接收所述驱动信号，并在所述驱动信号的控制下进行清洁。
2.如权利要求1所述探针清洁装置，其特征在于，还包括定位单元，接收所述清洁信号后，定位所述探针位置，并发射位置信号。
3.如权利要求2所述探针清洁装置，其特征在于，还包括信号分析单元，接收所述位置信号，进行分析并发射控制信号控制所述驱动单元进行移动，以使所述驱动单元到达指定位置。
4.如权利要求2所述探针清洁装置，其特征在于，所述定位单元包括红外发射器和红外接收器。
5.如权利要求1所述探针清洁装置，其特征在于，所述驱动单元包括机械手臂，所述机械手臂连接所述工作单元。
6.如权利要求1所述探针清洁装置，其特征在于，所述工作单元包括：转动主轴、清洁刷，所述清洁刷固定设置在所述转动主轴外表面。
7.如权利要求6所述探针清洁装置，其特征在于，所述清洁刷材质为纳米材料。
8.如权利要求1所述探针清洁装置，其特征在于，还包括收集单元，所述收集单元与所述工作单元连接，用于收集清洁过程出现的残留物。
9.一种包括权利要求1-8任一项所述探针清洁装置的清洁方法，其特征在于，包括：
提供探针；
监控单元监控所述探针的工作次数，当所述探针的工作次数达到预定值时，发射清洁信号；
驱动单元接收所述清洁信号，并发射驱动信号；
工作单元接收所述驱动信号，并在所述驱动信号的控制下进行清洁。
10.如权利要求9所述清洁方法，其特征在于，所述驱动单元驱动所述工作单元转动，并控制所述工作单元的转动速度以及工作时间。
malaki paul
11.一种测试机台，包括权利要求1-8任一项所述探针清洁装置。
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