横向线性马达
摘 要
MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势。MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视。首先,本文简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。 关键词: MEMS传感器; 加速度计; 陀螺仪; 纳米技术; 微机构; 微传感器
Abstract
MEMS sensor is a new type of sensor with the development of nanotechnology, with many new features, relative to the traditional sensor has a greater advantage. MEMS sensors a wide range of rapid development, widely used. In the pursuit of miniaturization of the conte
mporary, its good prospects for development, will be subject to more and more attention in various countries. First of all, this paper briefly introduces the classification and typical application of MEMS sensors. This paper discusses the current situation of MEMS sensor standard at home and abroad, and analyzes the development process, characteristics and standard system of MEMS sensor standard system at home and abroad, and puts forward some suggestions on the development of MEMS sensor standard in China.
卡盘扳手
Key word: MEMS sensor; accelerometer; gyroscope; nano technology; micro mechanism; micro sensor.
超低温制冷机引 言
MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器,是MEMS器件的一个重要分支。 MEMS技术的进步和发展促进了传感器性能的提升。作为MEMS最重要的组成部分, MEMS热转印墨水配方
活顶尖传感器发展最快,一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一,随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展,极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。MEMS传感器正逐步占据传感器市场,并逐渐取代传统机械传感器的主导地位,已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。
