一种晶粒筛分装置的制作方法

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1.本发明属于芯片制备技术领域，尤其涉及一种晶粒筛分装置。

背景技术：

2.芯片一般通过晶圆制备，具体的，一般通过将硅棒切割成晶圆，而后对晶圆进行相应的处理后，再将晶圆经过裂片形成晶粒，以获得芯片颗粒。
3.在晶圆裂片过程中，会有裂片不彻底而形成的连片，连片比合格的晶粒尺寸大；也有相邻晶粒之间受力不均而产生断片，断片比合格的晶粒尺寸小；因此，需要通过筛分来快速得到合格的晶粒。
4.利用人工进行筛分是一个不错的方式，可以柔性化的完成筛分，过程可控，但效率低，且对操作人员的强度要求不低，大多数厂商目前多采用此种方式进行。目前，现有技术中也出现了一些筛分装置，可以实现自动化筛分晶粒，比如公告号为：cn211660425u的专利，其提供的自动晶圆筛选机采用倾斜卧式筒状结构进行筛选，可以起到自动筛选的效果，但是由于倾斜卧式，会容易导致在筒内的下部堆积而影响效率；又比如公开号为：cn114472129a的专利，是本技术人在先申请的一种筛选设备方案，该设备利用在螺旋输送道上架设旋转的多个筛选机构，并利用凸轮和弹簧，配合固定的理料杆完成筛选，这种方式可以避免输送线过于冗长而占车间内空间的问题，同时也有一定的自动化筛选效果，但是仅能完成一个级次的筛选，对于分选后的晶粒，还需要再次送入另一个筛选设备完成另一级次的筛选，并且，这种凸轮与弹簧配合进行往复移动筛网的方式，运行的稳定性并不理想，在长期使用后，弹簧的恢复弹性形变的能力逐渐减弱，甚至弱化到失去对往复作用的有效性，从而导致筛选不能进行，而此时，则需要维护设备，更换零件才可继续运行，可能造成工期耽误。

技术实现要素：

5.为解决上述现有技术不足，本发明提供一种晶粒筛分装置，代替人工操作，实现自动化批量筛选晶粒，不仅能够保证较好的筛选效果和效率，且装置运行稳定性强，并结合两个级次的筛选，缩短工序。
6.为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：一种晶粒筛分装置，包括：安装部，包括安装架，呈门字形，其横部设有连接轴，连接轴向下的一端连接阶梯轴一端，阶梯轴中部设有齿盘；接料斗，其外壁连接于安装架的两臂，接料斗内倾斜设有筛分网，筛分网上方设有导流板，导流板倾斜方向与筛分网倾斜方向相反，导流板最低端与筛分网具有预定间距，筛分网最低端与接料斗连接处设有出料管；驱动部，包括电机，电机设于安装架顶部，电机输出端连接传动轴，传动轴一端穿过安装架顶部后连接主动齿轮，主动齿轮啮合配合从动齿轮，从动齿轮与阶梯轴转动配合，
并位于齿盘的上方，齿盘下方设有转动座，转动座与阶梯轴另一端转动配合，从动齿轮的一面呈圆周阵列设有多个行星齿轮和l型板，行星齿轮和l型板间隔设置，行星齿轮均与齿盘啮合配合，l型板的横部连接转动座；筛分部，有多个，位于接料斗上方，筛分部数量与行星齿轮数量相同，筛分部的一端连接转动座，并与l型板间隔设置，筛分部包括推动组件、拨动件、导向板、筛分篓、连接组件，推动组件一端连接行星齿轮，另一端连接拨动件，连接组件一端连接筛分篓，另一端连接转动座，导向板连接于连接组件，并位于筛分篓上方，导向板上设有导向槽，拨动件一端穿过导向槽，并伸入筛分篓内。
7.进一步的，连接轴的一端设有第一法兰盘，阶梯轴的一端设有第二法兰盘，第一法兰盘与第二法兰盘通过多个螺栓连接。
8.进一步的，阶梯轴包括第一轴段和第二轴段，第一轴段位于第二轴段的上方，第一轴段的一端与第二轴段连接处设置有连接盘，齿盘设于连接盘外周。
9.进一步的，行星齿轮的一面设有矩形轴，推动组件包括转杆，转杆一端设有矩形孔，矩形轴设于矩形孔内，转杆的另一端与推杆的一端转动连接，推杆的另一端转动连接有移动板，移动板与拨动件的一端转动连接。
10.进一步的，拨动件包括两个连杆、安装板、气囊、多个拨齿，连杆一端穿过导向槽，并与移动板转动连接，连杆的另一端与安装板转动连接，气囊设于安装板的底面，拨齿均布于气囊的外表面。
11.进一步的，气囊外壁呈流线弧形，气囊上设有气孔，拨齿的一端呈圆珠结构。
12.进一步的，筛分篓包括篓筒，沿篓筒底部径向设有一块平板，平板两侧分别设有斜板，斜板呈扇形，其扇形边与篓筒匹配，平板和斜板上均设置有孔。
13.进一步的，篓筒外壁两侧分别设有耳板，耳板上设有限位孔，连接组件包括连接杆、u型座、“7”型板，u型座水平设置，且开口朝外，连接杆的一端连接转动座，另一端连接u型座的横部，“7”型板的竖部垂直于u型座的横部顶面，“7”型板的横部连接导向板的一端，u型座的两支臂内侧分别对称设有条形槽，条形槽内安装有弹簧销，弹簧销与耳板上的限位孔配合。
14.进一步的，导向板呈椭圆型，导向槽呈波浪形，具有多个凸部和凹部，且凸部和凹部依次间隔设置，导向槽中部的凸部最高，最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽的两端逐渐减弱。
15.本发明的有益效果在于：1、行星齿轮和l型板均与从动齿轮连接，在从动齿轮的转动下可使筛分部在导流板的上方转动，从而使合格晶粒、断片以及碎屑缓慢的洒落到导流板上，再经过导流板滑入筛分网上进行筛分，避免合格晶粒、断片以及碎屑堆积，提高筛分效率；2、行星齿轮与齿盘啮合，使行星齿轮跟随从动齿轮做圆周运动的同时自转，行星齿轮自转时驱动转杆转动，从而使转杆推动推杆往复移动，便实现拨齿在筛分篓内往复移动，以拨动筛分篓内的晶粒，从而代替人工操作，效率高；3、导向槽上具有多个凸部和凹部，且凸部和凹部依次间隔设置，导向槽中部的凸部最高，最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽的两端逐渐减弱，使导向槽构成具有凹凸结构的波浪形，从而使拨动件在往复移动的同时左右摆动，进一步的提高拨齿对晶粒的拨
动范围，使筛分的效率进一步的提高。
附图说明
16.本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本发明的范围。
17.图1示出了本技术的整体结构示意图。
18.图2示出了本技术的剖视图。
19.图3示出了本技术的筛分部立体结构图。
20.图4示出了图3的a处的局部放大视图。
21.图5示出了图4的a1处的局部放大视图。
22.图6示出了本技术的筛分部另一视角立体结构图。
23.图7示出了图6的b处的局部放大视图。
24.图8示出了本技术的从动齿轮、齿盘、行星齿轮、推动组件的位置关系图。
25.图9示出了图8的c处的局部放大视图。
26.图10示出了本技术的图8的剖视图。
27.图11示出了本技术的图筛分篓的结构示意图。
28.图12示出了本技术的筛分篓与u型座的连接关系示意图。
29.图13示出了图12的d处的局部放大视图。
30.图14示出了本技术的出料管的位置图。
31.图15示出了本技术的导流板的结构示意图。
32.图中标记：安装部-100、安装架-110、连接轴-120、第一法兰盘-121、阶梯轴-130、第一轴段-131、第二轴段-132、第二法兰盘-133、齿盘-140、接料斗-200、筛分网-210、导流板-220、出料管-230、驱动部-300、电机-310、传动轴-320、主动齿轮-330、从动齿轮-340、行星齿轮-350、矩形轴-351、转动座-360、l型板-370、筛分部-400、推动组件-410、转杆-411、推杆-412、移动板-413、拨动件-420、连杆-421、安装板-422、气囊-423、气孔-4231、拨齿-424、导向板-430、导向槽-431、筛分篓-440、篓筒-441、平板-442、斜板-443、耳板-444、连接组件-450、连接杆-451、u型座-452、条形槽-4521、弹簧销-4522、“7”型板-453。
具体实施方式
33.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的实施方式进行详细说明，但本发明所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
34.如图1所示，本技术实施例的一种晶粒筛选装置，包括：安装部100、接料斗200、驱动部300、多个筛分部400等，安装部100用于安装接料斗200、驱动部300以及筛分部400，驱动部300用于为筛分部400提供动力，筛分部400用于筛分裂片后的晶粒，接料斗200用于为筛分部400筛出的晶粒提供容置空间。
35.具体的，如图1、图6、图8、图10所示，安装部100包括安装架110，安装架110呈门字形，门字形安装架110的横部向下延伸地设置有连接轴120，连接轴120位于安装架110横部的中心，连接轴120的下端连接阶梯轴130的一端，阶梯轴130的中部设置有齿盘140，齿盘
140上设有多个减重孔，以降低齿盘140的重量，从而减少阶梯轴130的承载力。
36.具体的，如图1所示，接料斗200连接安装架110，接料斗200的外壁两侧分别设有连接块，通过连接块将接料斗200安装于安装架110的两臂上。如图2所示，接料斗200内设有筛分网210和导流板220，筛分网210的外周与接料斗200的内壁连接，筛分网210与接料斗200的横截面呈预定角度，使筛分网210倾斜设于接料斗200内，筛分网210将接料斗220分隔成第一腔和第二腔，第一腔位于第二腔的上方，导流板220设于第一腔内，使导流板220位于筛分网210的上方，导流板220的倾斜方向与筛分网210相反。如图15所示，导流板220朝向筛分网210高的一端具有缺口，所述缺口处用于排料，导流板220连接接料斗200内壁，其缺口处呈悬空状态；缺口与筛分网210之间具有预定间距，使筛分部400内落出的合格晶粒、断片以及碎屑落入导流板220上，然后再通过导流板220的缺口滑入筛分网210的上部，再沿筛分网210下滑，以去除断片和碎屑。
37.具体的，筛分网210的最低端与接料斗200连接处设置有出料管230，出料管230一端连通第一腔，另一端向下延伸出接料斗200，出料管230用于合格晶粒出料，出料管230伸出接料斗200的一端设有合格品收集盒，便于合格晶粒的收集；如图14所示，为了避免合格晶粒滞留于第一腔内，出料管230与第一腔的连通处设为弧形口。第二腔用于收集晶粒断片及碎屑，避免从筛分网210上落出的晶粒断片和碎屑四处散落，将第二腔的下部设为圆锥形的腔体，在圆锥形的腔体小端的出口处设置残次品收集盒，便于收集落出的晶粒断片和碎屑。
38.具体的，如图1-图3、图6、图8、图10所示，驱动部300包括电机310、传动轴320、主动齿轮330、从动齿轮340、四个行星齿轮350、转动座360以及四个l型板370，电机310设于安装架110的顶部，电机310的输出端连接传动轴320，传动轴320的一端穿过安装架110的顶部后连接主动齿轮330，主动齿轮330啮合配合从动齿轮340，从动齿轮340通过轴承安装于阶梯轴130上，使从动齿轮340在阶梯轴130上转动，且从动齿轮340位于齿盘140的正上方，齿盘140与从动齿轮340之间设有推力球轴承，以减小齿盘140与从动齿轮340接触面的摩擦力，提高从动齿轮340的使用寿命，从动齿轮340上设有限位板，限位板通过键连接的方式与阶梯轴130连接，用于限制从动齿轮340的轴向移动；转动座360与阶梯轴130的另一端转动配合，转动座360位于齿盘140的正下方。如图6、图8、图9所示，从动齿轮340的一面呈圆周阵列设有四个销轴，行星齿轮350转动设于销轴上，行星齿轮350与l型板370间隔设置，l型板370的竖部顶部连接从动齿轮340，横部的一端连接转动座360的外壁。各行星齿轮350均与齿盘140啮合，本实施例中行星齿轮350和l型板370均采用四个，也可根据需要设置多个，具体设置数量可根据需要自行选择。
39.使用时，启动电机310，电机310带动主动齿轮330转动，从而驱动从动齿轮340在阶梯轴130上转动，使从动齿轮340带动四个行星齿轮350和l型板370与从动齿轮340同步转动，同时因行星齿轮350啮合齿盘140，从而行星齿轮350自转，也就是说行星齿轮350跟从动齿轮340同步转动的同时也要自转；转动座360在l型板370的转动下与从动齿轮340在阶梯轴130的另一端同步转动。
40.具体的，如图1、图3所示，筛分部400的数量与行星齿轮350的数量相同，设置有四个，并沿从动齿轮340圆周分布，各筛分部400均位于接料斗200的上方，如图2所示，筛分部400在接料斗200上的投影落入导流板220的范围内。如图4-图9所示，筛分部400包括推动组
件410、拨动件420、导向板430、筛分篓440、连接组件450，推动组件410一端与行星齿轮350的一面转动连接，另一端与拨动件420转动连接，当行星齿轮350自转时，推动组件410往复运动，从而驱动拨动件420往复运动。
41.具体的，连接组件450一端连接筛分篓440，另一端连接转动座360，导向板430连接于连接组件450，并位于筛分篓440上方，导向板430上设置有导向槽431，拨动件420的一端穿过导向槽431，并伸入筛分篓440内。
42.当转动座360跟随从动齿轮340转动时，便可使连接于转动座360的连接组件450同步转动，从而使筛分部400与从动齿轮340同步转动。行星齿轮350自转时，推动组件410往复运动，从而驱动拨动件420往复运动，进而使拨动件420拨动筛分篓440内的晶粒进行筛分，使合格晶粒、断片以及碎屑从筛分篓440内落出。在筛分部400的转动下使落出的筛分篓440的合格晶粒、断片以及碎屑缓慢的洒落在导流板220上，洒落在导流板220上的合格晶粒、断片以及碎屑具有一定的初速度，之后再沿导流板210顺畅滑出，为了减小导流板220上的合格晶粒、断片以及碎屑沿导流板210下滑的速度过快，可将导流板220与水平面的倾斜角设为锐角，通过控制导流板220与水平面的夹角来控制导流板220上合格晶粒、断片以及碎屑的下滑速度，避免合格晶粒、断片以及碎屑下滑速度过快而产生二次损伤。合格晶粒、断片以及碎屑沿导流板220的缺口滑入筛分网210上进行筛分，以去除断片和碎屑，使合格晶粒通过出料管230进入合格品收集盒，断片和碎屑通过第二腔进入残次品收集盒，晶粒连片保持在筛分篓440内。
43.具体的，如图1、图3、图8、图10所示，连接轴120的一端设有第一法兰盘121，阶梯轴130的一端设有第二法兰盘133，第一法兰盘121与第二法兰盘133通过多个螺栓连接，当阶梯轴130上的部件有损坏时，便于拆卸维修。阶梯轴130包括第一轴段131和第二轴段132，第一轴段131位于第二轴段132的上方，第一轴段131的一端与第二轴段132连接处设置有连接盘，齿盘140设于连接盘外周，使齿盘140装置运转过程中，保持固定。
44.具体的，如图9所示，行星齿轮350的一面设有矩形轴351，推动组件410包括转杆411和推杆412，转杆411一端设有矩形孔，矩形轴351设于矩形孔内，转杆411的另一端与推杆412的一端通过销轴同轴转动连接，如图5推杆412的另一端转动连接有移动板413，移动板413与拨动件420的一端转动连接。当行星齿轮350自转时，矩形轴351跟随行星齿轮350同步转动，从而使转杆411绕矩形轴351转动，推杆412在转杆411的转动下往复运动，从而推动拨动件420在导向槽431内往复运动，从而拨动筛分篓440内的晶粒进行筛分。
45.具体的，如图5、图7所示，拨动件420包括两个连杆421、安装板422、气囊423、多个拨齿424，连杆421一端穿过导向槽431与移动板413转动连接，另一端与安装板422转动连接，气囊423设于安装板422的底面，拨齿424均布于气囊423表面。气囊423一端设有气孔4231，气囊423外壁呈流线弧形，气囊423采用具有弹性形变的塑形材料制成，当拨齿424对晶粒进行往复拨动时，气囊423可缓冲拨齿424的作用力，有效保护晶粒，避免晶粒出现二次损伤。拨齿424的一端呈圆珠结构，避免拨齿424伸入筛分篓440的一端有刃口，而划伤晶粒表面，拨齿424采用塑料材质制成，使拨齿424在筛分篓440内拨动晶粒时更具柔和性，有效的保护晶粒。
46.具体的，如图11-12所示，筛分篓440包括篓筒441，篓筒441底部中心设有一块平板442，平板442沿篓筒441底部的径向设置，平板442两侧分别设有斜板443，斜板443呈扇形，
其扇形边与篓筒441匹配，平板442和斜板443上均设置有孔。当拨齿424在筛分篓440内拨动晶粒时，晶粒受拨齿424的作用力向筛分篓440两侧的斜板443上移动，当拨齿424的作用力消失后，晶粒在重力作用下自动落入平板442的区域内，避免晶粒堆积于筛分篓440的边缘处，提高筛分效率。
47.具体的，如图11所示，篓筒441外壁两侧分别设有耳板444，耳板444上设有限位孔，如图4-图6所示，连接组件450包括连接杆451、u型座452、“7”型板453，u型座452水平设置，且开口朝外，连接杆451的一端连接转动座360，另一端连接u型座452的横部外侧，“7”型板453的竖部垂直于u型座452的横部顶面，“7”型板453的横部连接导向板430的一端，u型座452的两支臂内侧分别对称设有条形槽4521，如图4以及图11-图13所示，条形槽4521内安装有弹簧销4522，弹簧销4522与耳板444上的限位孔连接。当筛分结束后，向外拉动筛分篓440，便可将筛分篓440取下，方便将筛分篓440内的晶粒连片倒出，操作方便。
48.具体的，如图3-图5所示，为了减轻设备重量，将导向板430设置为椭圆型，导向槽431呈波浪形，其上具有多个凸部和凹部，且凸部和凹部依次间隔设置，导向槽431中部的凸部最高，最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽431的两端逐渐减弱，使导向槽431构成具有凹凸结构的波浪形，当推杆412推动拨动件420沿导向槽431运动时，便可使拨齿424在筛分篓440内一边摆动一边沿筛分篓440的径向往复移动，极大的提高了筛分的效率。
49.将本实施例的装置应用于芯片晶粒筛分的工作方式为：将裂片后的晶粒依次装入筛分篓440内，启动电机310，电机310带动传动轴320转动，从而使主动齿轮330带动从动齿轮340转动，位于从动齿轮340上的行星齿轮350和l型板370跟随从动齿轮340同步转动。
50.行星齿轮350跟随从动齿轮340转动的同时，行星齿轮350啮合齿盘140，从而使行星齿轮350开始自转，行星齿轮350自转时带动矩形轴351转动，从而使转杆411与行星齿轮350的自转同步转动，转杆411便可对推杆412往复运动，从而使推杆412推动移动板413移动，移动板413带动连杆421往复移动，连杆421沿导向槽431的轨迹运动，从而使拨齿424在筛分篓440内往复运动而拨动晶粒，从而实现对晶粒的一次筛分，使合格晶粒、断片以及碎屑进入导流板220上，再经过导流板220的缺口滑入筛分网210上进行二次筛分。
51.l型板370跟随从动齿轮340转动的同时，带动转动座360同步转动，从而使筛分部400绕阶梯轴130转动，使合格晶粒、断片以及碎屑导流板220上，再经过导流板220的缺口滑入筛分网210上进行二次筛分。使合格晶粒、断片以及碎屑在同一位置滑入到筛分网210上，提高筛分效果。
52.以上所述仅为本发明的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本发明。本领域技术人员应理解，在不脱离本发明的范围情况下，对本发明进行的各种改变或同等替换，均属于本发明保护的范围。

技术特征：

1.一种晶粒筛分装置，其特征在于，包括：安装部（100），包括安装架（110），呈门字形，其横部设有连接轴（120），连接轴（120）向下的一端连接阶梯轴（130）一端，阶梯轴（130）中部设有齿盘（140）；接料斗（200），其外壁连接于安装架（110）的两臂，接料斗（200）内倾斜设有筛分网（210），筛分网（210）上方设有导流板（220），导流板（220）倾斜方向与筛分网（210）倾斜方向相反，导流板（220）最低端与筛分网（210）具有预定间距，筛分网（210）最低端与接料斗（200）连接处设有出料管（230）；驱动部（300），包括电机（310），电机（310）设于安装架（110）顶部，电机（310）输出端连接传动轴（320），传动轴（320）一端穿过安装架（110）顶部后连接主动齿轮（330），主动齿轮（330）啮合从动齿轮（340），从动齿轮（340）与阶梯轴（130）转动配合，并位于齿盘（140）的上方，齿盘（140）下方设有转动座（360），转动座（360）与阶梯轴（130）另一端转动配合，从动齿轮（340）的一面呈圆周阵列设有多个行星齿轮（350）和l型板（370），行星齿轮（350）和l型板（370）间隔设置，行星齿轮（350）均与齿盘（140）啮合，l型板（370）的横部连接转动座（360）；筛分部（400），有多个，位于接料斗（200）上方，筛分部（400）数量与行星齿轮（350）数量相同，筛分部（400）的一端连接转动座（360），并与l型板（370）间隔设置，筛分部（400）包括推动组件（410）、拨动件（420）、导向板（430）、筛分篓（440）、连接组件（450），推动组件（410）一端连接行星齿轮（350），另一端连接拨动件（420），连接组件（450）一端连接筛分篓（440），另一端连接转动座（360），导向板（430）连接于连接组件（450），并位于筛分篓（440）上方，导向板（430）上设有导向槽（431），拨动件（420）一端穿过导向槽（431），并伸入筛分篓（440）内。2.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置，其特征在于，连接轴（120）的一端设有第一法兰盘（121），阶梯轴（130）的一端设有第二法兰盘（133），第一法兰盘（121）与第二法兰盘（133）通过多个螺栓连接。3.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置，其特征在于，阶梯轴（130）包括第一轴段（131）和第二轴段（132），第一轴段（131）位于第二轴段（132）的上方，第一轴段（131）的一端与第二轴段（132）连接处设置有连接盘，齿盘（140）设于连接盘外周。4.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置，其特征在于，行星齿轮（350）的一面设有矩形轴（351），推动组件（410）包括转杆（411）和推杆（412），转杆（411）一端设有矩形孔，矩形轴（351）设于矩形孔内，转杆（411）的另一端与推杆（412）的一端转动连接，推杆（412）的另一端转动连接有移动板（413），移动板（413）与拨动件（420）的一端转动连接。5.根据权利要求4所述的晶粒筛分装置，其特征在于，拨动件（420）包括两个连杆（421）、安装板（422）、气囊（423）、多个拨齿（424），连杆（421）一端穿过导向槽（431），并与移动板（413）转动连接，连杆的另一端与安装板（422）转动连接，气囊（423）设于安装板（422）的底面，拨齿（424）均布于气囊（423）的外表面。6.根据权利要求5所述的晶粒筛分装置，其特征在于，气囊（423）外壁呈流线弧形，气囊（423）上设有气孔（4231），拨齿（424）的一端呈圆珠结构。7.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置，其特征在于，筛分篓（440）包括篓筒（441），沿篓筒（441）底部径向设有一块平板（442），平板（442）两侧分别设有斜板（443），斜板（443）呈扇形，其扇形边与篓筒（441）匹配，平板（442）和斜板（443）上均设置有孔。
8.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置，其特征在于，篓筒（441）外壁两侧分别设有耳板（444），耳板（444）上设有限位孔，连接组件（450）包括连接杆（451）、u型座（452）、“7”型板（453），u型座（452）水平设置，且开口朝外，连接杆（451）的一端连接转动座（360），另一端连接u型座（452）的横部，“7”型板（453）的竖部垂直于u型座（452）的横部顶面，“7”型板（453）的横部连接导向板（430）的一端，u型座（452）的两支臂内侧分别对称设有条形槽（4521），条形槽（4521）内安装有弹簧销（4522），弹簧销（4522）与耳板（444）上的限位孔配合。9.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置，其特征在于，导向板（430）呈椭圆型，导向槽（431）呈波浪形，具有多个凸部和凹部，且凸部和凹部依次间隔设置，导向槽（431）中部的凸部最高，最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽（431）的两端逐渐减弱。

技术总结

一种晶粒筛分装置，包括安装部、接料斗、驱动部、多个筛分部等，安装部用于安装接料斗、驱动部以及筛分部，驱动部包括电机、主动齿轮等，用于为筛分部提供动力，筛分部设有多个，并作为一级筛分，用于筛分裂片后的晶粒，筛分部设于接料斗的正上方，筛分部在接料斗上的投影落入接料斗的范围内，筛分部包括推动组件、拨动件、导向板、筛分篓、连接组件，接料斗用于为筛分部筛出的晶粒提供容置空间，且接料斗内倾斜设有筛分网，筛分网上方设有导流板，用于二级筛分以得到合格的晶粒，代替人工操作，实现自动化批量筛选晶粒，不仅能够保证较好的筛选效果和效率，且装置运行稳定性强，并结合了两个级次的筛选，缩短了工序。缩短了工序。缩短了工序。