电子级质量标准

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电子级

福建省邵武市永飞化工有限公司 电子级的质量标准

质量标准：

槽钢加工富氧设备

项 目	指 标
	EL级	UP级	UP-S级
(HF), w/%	49 + 0.5	49 + 0.5	49 + 0.5
度 Color, 黑曾 ≤	10	10	10
硅氟酸, H2SiF6 ppb ≤	100000	20000	20000
氯化物, Cl ppb ≤	5000	5000	500
硝酸盐, NO3 ppb ≤	3000	3000	300
磷酸盐, PO4 ppb ≤	1000	1000	100
亚硫酸盐, SO3 ppb ≤	5000	2000	200
硫酸盐, SO4 ppb ≤		500	200
铝( Al ) ppb ≤	100	10	1
砷( As ) ppb ≤	50	10	1
钡( Ba ) ppb ≤	100	10	1
铍( Be ) ppb ≤	20	5	1
铋( Bi ) ppb ≤	20	5	1
镉( Cd ) ppb ≤	50	10	1
钙( Ca ) ppb ≤	100	10	1
铬( Cr ) ppb ≤	20	10	1
钴( Co ) ppb ≤	20	10	1
铜( Cu ) ppb ≤	20	10	1

镓( Ga ) ppb ≤	20	10	1
锗( Ge ) ppb ≤	20	10	1
金( Au ) ppb ≤	20	5	1
铁( Fe ) ppb ≤	100	10	1
铅( Pb ) ppb ≤	50	10	1
锂( Li ) ppb ≤	20	5	1
镁( Mg ) ppb ≤	200	10	1
锰( Mn ) ppb ≤	20轮胎胶粉技术	10	1
钼( Mo ) ppb ≤	100	10	1
镍( Ni ) ppb ≤	50	10	1
钾( K ) ppb ≤	100	10	1
银( Ag ) ppb ≤	20	5	1
钠( Na ) ppb ≤	200	10	1
铂( Pt ) ppb ≤	100	10	1
锶( Sr ) ppb ≤	-	10	1
铊( Tl ) ppb ≤	-	10	1
锡( Sn ) ppb ≤	20	10	1
锑( Sb ) ppb ≤	-	10	1
钛( Ti ) ppb ≤	100	10	1
矾( V ) ppb ≤	-	10	1

调漆设备

锌( Zn ) ppb ≤	50	10	10
颗粒(≥ 0.5 μm ) 个 /ml ≤	25	25	25多功能烧烤车
颗粒(≥ 0.3 μm ) 个 /ml ≤	-	150	150
颗粒(≥ 0.2 μm) 个 /ml ≤	-	300	300

UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.

UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准

EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺

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铜管对流散热器  项目  单位  EL级指标  含量  %  0.49%-49%  度  Hazen  <10  颗粒(≥1.0μm)  Ea/ml  ≤25  氟硅酸(H2SiF6)  ppm  ≤100  氯化物(Cl)  ppm  ≤5  硝酸盐(NO3)  ppm  ≤3  磷酸盐(PO4)  ppm  ≤1  硫酸盐和亚硫酸盐(SO4)  ppm  ≤5  锂(Li)   ppb  <20  钠(Na)  ppb  <100  镁(Mg)  ppb  <100  铝(Al)   ppb  <100  钾(K)     ppb  <100  钙(Ca)  ppb  <100  铬(Cr)   ppb  <20  锰(Mn)  ppb  <20  铁(Fe)  ppb  <100  钴(Co)  ppb  <20  镍(Ni)  ppb  <50  铜(Cu)  ppb  <20  锌(Zn)  ppb  <50  镓(Ga)  ppb  <20  钼(Mo)  ppb  <100  银(Ag)  ppb  <20  镉(Cd)  ppb  <50  锡(Sn)  ppb  <20  钡(Ba)  ppb  <100  铂(Pt)   ppb  <100  金(Au)  ppb  <20  铊(Tl)   ppb  <10  铅(Pb)  ppb  <50

本文发布于:2023-05-20 10:20:53，感谢您对本站的认可！

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