负压蒸汽发生器的制作方法

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1.本发明涉及清洗领域，尤其涉及一种负压蒸汽发生器。

背景技术：

2.目前，在半导体器件的制备过程中，经常会在具有不同物理层的半导体器件表面上先形成凸起或凹陷的结构，再进行平坦化将晶圆表面整平以完成器件结构。在现有技术中，通常使用化学机械抛光工艺整平凸凹不平的晶圆表面。化学机械抛光是集成电路向微细化、多层化、薄型化、平坦化工艺发展的产物，也是晶圆向200mm、300mm乃至更大直径过渡、提高生产效率、降低制造成本及衬底全局平坦化必备的工艺技术。在cmp工艺之后，这些抛光颗粒成为缺陷微粒，必须从晶圆表面完全除去以保持器件性能的可靠性和生产线的清洁度。在现有技术中，常用的去除化学机械抛光后晶圆表面残留的缺陷微粒的方法是采用蒸汽清洗。
3.但是，现有的蒸汽清洗装置存在以下缺陷：
4.1.市面上的蒸汽清洗装置一般采用高温蒸汽的方式进行清洗，容易烫伤，安全性不足。
5.2.市面上的蒸汽清洗装置可控性不足，容易出现水量过多的问题。

技术实现要素：

6.为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种负压蒸汽发生器，其能解决安全性不足、控制不便的问题。
7.本发明的目的之一采用如下技术方案实现：
8.一种负压蒸汽发生器，包括前端管路组件、加热组件、质量流量计、出液管路、外壳组件、plc控制组件、用于产生负压的真空装置，所述前端管路组件包括连接头模块、进液管路、第一隔离阀，所述连接头模块内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，所述喷雾组件与所述进液管路连通，所述进液管路通过所述第一隔离阀与加热组件连通；所述加热组件内设置有与plc控制组件建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，所述加热组件与所述温度开关连接；所述加热组件的输出端通过所述质量流量计与所述出液管路连接，所述前端管路组件、加热组件、质量流量计、plc控制组件安装于所述外壳组件上，所述出液管路与所述真空装置连通。
9.进一步地，所述前端管路组件还包括用于将过量液体或水汽回流的回流管路，所述回流管路与所述加热组件连通。
10.进一步地，所述前端管路组件还包括回流补液管路，所述喷雾组件与所述回流补液管路连通。
11.进一步地，所述前端管路组件还包括第二隔离阀，所述回流补液管路通过所述第二隔离阀与加热组件连通。
12.进一步地，所述前端管路组件还包括主接头，所述主接头与所述连接头模块连接。
13.进一步地，所述加热组件为加热带。
14.进一步地，所述加热组件的底部设置有u型座，所述加热组件固定于所述u型座上，所述u型座固定于所述外壳组件。
15.进一步地，所述高度液位计包括用于控制低液位的第一液位计、用于控制高液位的第二流量计，所述第二流量计、第一液位计分别安装于所述加热组件的上部、下部。
16.进一步地，所述加热组件为加热罐，所述加热组件内设置有温度传感器，所述温度传感器与所述plc控制组件连接。
17.进一步地，所述质量流量计为mfc质量流量计。
18.相比现有技术，本发明的有益效果在于：
19.所述前端管路组件包括连接头模块、进液管路、第一隔离阀，所述连接头模块内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，所述喷雾组件与所述进液管路连通，所述进液管路通过所述第一隔离阀与加热组件连通；所述加热组件内设置有与plc控制组件建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，所述加热组件与所述温度开关连接；所述加热组件的输出端通过所述质量流量计与所述出液管路连接，所述前端管路组件、加热组件、质量流量计、plc控制组件安装于所述外壳组件上，所述出液管路与所述真空装置连通。采用喷雾组件将液体雾化，给加热带来便利，采用所述加热组件将雾化液体加热至低温即可通过出液管路通入真空装置中，进而在真空装置的端部输出低温蒸汽，解决了安全性不足、控制不便的问题。
20.上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
21.图1为本发明负压蒸汽发生器中一较佳实施例的立体图；
22.图2为图1所示负压蒸汽发生器的立体图；
23.图3为图1所示负压蒸汽发生器的另一立体图；
24.图4为图1所示负压蒸汽发生器的又一立体图。
25.图中：10、前端管路组件；11、连接头模块；101、进液管路；102、回流管路；103、回流补液管路；104、主接头；1011、第一隔离阀；1012、第二隔离阀；20、加热组件；30、质量流量计；40、出液管路；50、外壳组件；60、plc控制组件。
具体实施方式
26.下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
27.需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
28.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
29.请参阅图1-4，一种负压蒸汽发生器，包括前端管路组件10、加热组件20、质量流量计30、出液管路40、外壳组件50、plc控制组件60、用于产生负压的真空装置，所述前端管路组件10包括连接头模块11、进液管路101、第一隔离阀1011，所述连接头模块11内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，所述喷雾组件与所述进液管路101连通，所述进液管路101通过所述第一隔离阀1011与加热组件20连通；所述加热组件20内设置有与plc控制组件60建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，所述加热组件与所述温度开关连接；所述加热组件20的输出端通过所述质量流量计30与所述出液管路40连接，所述前端管路组件10、加热组件20、质量流量计30、plc控制组件60安装于所述外壳组件50上，所述出液管路40与所述真空装置连通。采用喷雾组件将液体雾化，给加热带来便利，采用所述加热组件20将雾化液体加热至低温即可通过出液管路40通入真空装置中，进而在真空装置的端部输出低温蒸汽，解决了安全性不足、控制不便的问题。
30.优选的，所述前端管路组件10还包括用于将过量液体或水汽回流的回流管路102，所述回流管路102与所述加热组件20连通。所述回流管路102与高度液位计配合使用，当加热组件20内的加热量超过需求时，可以通过回流管路102排出，控制方便。
31.优选的，所述前端管路组件10还包括回流补液管路103，所述喷雾组件与所述回流补液管路103连通。所述前端管路组件10还包括第二隔离阀1012，所述回流补液管路103通过所述第二隔离阀1012与加热组件20连通。通过所述回流补液管路103将回流的水雾或液体重新流入加热组件20，充分利用水汽资源。
32.优选的，所述前端管路组件10还包括主接头104，所述主接头104与所述连接头模块11连接。所述加热组件为加热带。
33.优选的，所述加热组件20的底部设置有u型座，所述加热组件20固定于所述u型座上，所述u型座固定于所述外壳组件50。所述u型座与所述外壳组件50之间形成隔热空间，解决了导热问题。
34.优选的，所述高度液位计包括用于控制低液位的第一液位计、用于控制高液位的第二流量计，所述第二流量计、第一液位计分别安装于所述加热组件20的上部、下部。所述加热组件20为加热罐，所述加热组件20内设置有温度传感器，所述温度传感器与所述plc控制组件60连接。所述质量流量计30为mfc质量流量计。整个装置结构紧凑，结构新颖，设计巧妙，适用性强，便于推广。
35.上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员在本发明的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本发明所要求保护的范围。

技术特征：

1.一种负压蒸汽发生器，包括前端管路组件、加热组件、质量流量计、出液管路、外壳组件、plc控制组件、用于产生负压的真空装置，其特征在于：所述前端管路组件包括连接头模块、进液管路、第一隔离阀，所述连接头模块内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，所述喷雾组件与所述进液管路连通，所述进液管路通过所述第一隔离阀与加热组件连通；所述加热组件内设置有与plc控制组件建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，所述加热组件与所述温度开关连接；所述加热组件的输出端通过所述质量流量计与所述出液管路连接，所述前端管路组件、加热组件、质量流量计、plc控制组件安装于所述外壳组件上，所述出液管路与所述真空装置连通。2.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括用于将过量液体或水汽回流的回流管路，所述回流管路与所述加热组件连通。3.如权利要求2所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括回流补液管路，所述喷雾组件与所述回流补液管路连通。4.如权利要求3所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括第二隔离阀，所述回流补液管路通过所述第二隔离阀与加热组件连通。5.如权利要求3所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述前端管路组件还包括主接头，所述主接头与所述连接头模块连接。6.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述加热组件为加热带。7.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述加热组件的底部设置有u型座，所述加热组件固定于所述u型座上，所述u型座固定于所述外壳组件。8.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述高度液位计包括用于控制低液位的第一液位计、用于控制高液位的第二流量计，所述第二流量计、第一液位计分别安装于所述加热组件的上部、下部。9.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述加热组件为加热罐，所述加热组件内设置有温度传感器，所述温度传感器与所述plc控制组件连接。10.如权利要求1所述的负压蒸汽发生器，其特征在于：所述质量流量计为mfc质量流量计。

技术总结

本发明公开了一种负压蒸汽发生器，包括前端管路组件、加热组件、质量流量计、出液管路、外壳组件、PLC控制组件、用于产生负压的真空装置，前端管路组件包括连接头模块、进液管路、第一隔离阀，连接头模块内设置有用于形成喷雾的喷雾组件，加热组件内设置有与PLC控制组件建立连接的高度液位计、加热组件、温度开关，加热组件与温度开关连接；加热组件的输出端通过质量流量计与出液管路连接，出液管路与真空装置连通。采用喷雾组件将液体雾化，给加热带来便利，采用加热组件将雾化液体加热至低温即可通过出液管路通入真空装置中，进而在真空装置的端部输出低温蒸汽，解决了安全性不足、控制不便的问题。便的问题。便的问题。