基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件的制作方法

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1.本实用新型涉及基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件领域，特别涉及基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件。

背景技术：

2.离子注入是半导体制造工艺中常用的离子掺杂工艺，所注入的离子通常由离子发生装置产生。离子发生装置通常包括电弧室、气源、管路以及喷嘴，其中，喷嘴与电弧室的内部连通，气源通过管路与喷嘴连通，气源的气体经管路及喷嘴进入电弧室，电弧室将进入电弧室的气体电离后输出，从而为半导体制造提供离子，喷嘴往往用于特殊气体，喷嘴是具备耐腐蚀性能的。
3.现有技术中用于半导体设备的喷嘴一般为固定安装，固定后需要拆卸或调节时较为不便，难以适应不同的需求，维护时难以实现快速的拆下，影响效率。
4.在中国实用新型专利申请号：cn202011218147.x中公开了离子发生装置以及半导体制造设备，该装置包括电弧室、喷嘴和气源，电弧室用于产生电弧，喷嘴与电弧室配合，喷嘴上设有多个与电弧室的内部连通的喷射孔，气源与喷嘴连通，用于为电弧室供给气体；当离子发生装置启动时，气源的气体经喷嘴的各喷射孔进入到电弧室的内部，由于在喷嘴上设置多个喷射孔，进入到电弧室的气体更加分散，从而提高了气体在电弧室的内部的均匀性，从而提高了气体的离子化效率，另外，减少了气体的使用量，使得生产制造的成本得到了降低。该装置中的喷嘴结构延伸至电弧室，并未设置调节结构，无法进行高度上的调节，并且不能快速的实现拆卸维护或清洁。
5.因此，提出基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件来解决上述问题很有必要。

技术实现要素：

6.本实用新型的主要目的在于提供基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，可以有效解决背景技术中的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
8.基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，包括管路，所述管路的上端固定连接有喷嘴第一段，所述喷嘴第一段的顶部固定连接有喷嘴第二段，所述喷嘴第二段的顶部开设有喷射孔，所述喷嘴第一段的外部套设有辅助调节筒，所述辅助调节筒内腔的两侧对称开设有调节导向槽，所述喷嘴第一段的左右两侧壁体对称固定连接有导向杆，所述导向杆背向喷嘴第一段的一侧开设有固定孔，所述辅助调节筒下端的左右两侧对称螺纹连接有螺钉；
9.所述辅助调节筒的上端外侧固定连接有安装环，所述安装环的顶部设置有法兰固定盘，所述法兰固定盘的四周对称开设有螺纹孔，所述法兰固定盘底部的两端对称开设有插入孔，两个所述插入孔的内壁对称开设有卡槽，所述安装环顶部的两端对称固定连接有立柱，两个所述立柱的顶部对称固定连接有限位帽，所述限位帽的顶部设置有抵触块。
10.优选的，所述喷嘴第一段的外侧与辅助调节筒的内壁贴合且滑动连接，所述导向杆滑动连接于调节导向槽的内腔。
11.优选的，每个所述导向杆侧面的固定孔的数量至少为二十个，并且固定孔沿着导向杆的长度方向均匀分布。
12.优选的，所述螺钉与调节导向槽对应，螺钉的直径略小于固定孔的内径，并且螺钉与固定孔插接配合。
13.优选的，所述法兰固定盘活动套设于辅助调节筒的上端外部，所述抵触块活动插设于限位帽的顶部，并且抵触块的底部与限位帽的内部之间设置有弹性件，抵触块与卡槽的内壁抵触配合。
14.优选的，所述卡槽的截面呈“t”形，所述立柱和限位帽组成的整体与插入孔插接后再与卡槽卡接配合。
15.有益效果
16.与现有技术相比，本实用新型提供了基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，具备以下有益效果：
17.1、该基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，通过设置的法兰固定盘、螺纹孔、插入孔、卡槽、立柱、限位帽、抵触块、安装环的相互配合可以方便喷嘴第一段和辅助调节筒组成的整体的拆装，将法兰固定盘通过螺纹孔配合螺栓进行固定连接，安装环与法兰固定盘之间卡接，操作方便，提高了工作效率。
18.2、该基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，通过设置的辅助调节筒、调节导向槽、螺钉、导向杆、固定孔的相互配合可以方便喷嘴第一段在一定范围内进行高度的调节，进而满足不同的需求，增加了实用性。
附图说明
19.图1是本实用新型的结构示意图；
20.图2是本实用新型辅助调节筒的结构示意图；
21.图3是本实用新型喷嘴第一段的结构示意图；
22.图4是本实用新型立柱的结构示意图；
23.图5是本实用新型法兰固定盘的仰视结构示意图；
24.图6是本实用新型法兰固定盘的侧视剖面结构示意图。
25.图中：1、管路；2、喷嘴第一段；3、喷嘴第二段；4、喷射孔；5、辅助调节筒；6、安装环；7、法兰固定盘；8、调节导向槽；9、螺钉；10、立柱；11、导向杆；12、固定孔；13、限位帽；14、抵触块；15、螺纹孔；16、插入孔；17、卡槽。
具体实施方式
26.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
27.如图1-6所示，基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，包括管路1，管路1的上端固定连接有喷嘴第一段2，喷嘴第一段2的顶部固定连接有喷嘴第二段3，喷嘴第二段3的顶部开设有喷射孔4，喷嘴第一段2的外部套设有辅助调节筒5，喷嘴第一段2的外侧与辅助调
节筒5的内壁贴合且滑动连接，辅助调节筒5内腔的两侧对称开设有调节导向槽8，喷嘴第一段2的左右两侧壁体对称固定连接有导向杆11，导向杆11滑动连接于调节导向槽8的内腔，导向杆11背向喷嘴第一段2的一侧开设有固定孔12，每个导向杆11侧面的固定孔12的数量至少为二十个，并且固定孔12沿着导向杆11的长度方向均匀分布，辅助调节筒5下端的左右两侧对称螺纹连接有螺钉9，螺钉9与调节导向槽8对应，螺钉9的直径小于固定孔12的内径，并且螺钉9与固定孔12插接配合，通过设置的辅助调节筒5、调节导向槽8、螺钉9、导向杆11、固定孔12的相互配合可以方便喷嘴第一段2在一定范围内进行高度的调节，进而满足不同的需求，增加了实用性；
28.辅助调节筒5的上端外侧固定连接有安装环6，安装环6的顶部设置有法兰固定盘7，法兰固定盘7活动套设于辅助调节筒5的上端外部，法兰固定盘7的四周对称开设有螺纹孔15，法兰固定盘7底部的两端对称开设有插入孔16，两个插入孔16的内壁对称开设有卡槽17，安装环6顶部的两端对称固定连接有立柱10，两个立柱10的顶部对称固定连接有限位帽13，限位帽13的顶部设置有抵触块14，抵触块14活动插设于限位帽13的顶部，并且抵触块14的底部与限位帽13的内部之间设置有弹性件，抵触块14与卡槽17的内壁抵触配合，卡槽17的截面呈“t”形，立柱10和限位帽13组成的整体与插入孔16插接后再与卡槽17卡接配合，通过设置的法兰固定盘7、螺纹孔15、插入孔16、卡槽17、立柱10、限位帽13、抵触块14、安装环6的相互配合可以方便喷嘴第一段2和辅助调节筒5组成的整体的拆装，将法兰固定盘7通过螺纹孔15配合螺栓进行固定连接，安装环6与法兰固定盘7之间卡接，操作方便，提高了工作效率。
29.需要说明的是，本实用新型为基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，使用时在法兰固定盘7、螺纹孔15、插入孔16、卡槽17、立柱10、限位帽13、抵触块14、安装环6的相互配合可以方便喷嘴第一段2和辅助调节筒5组成的整体的拆装，具体的，以安装为例，先将法兰固定盘7进行固定，辅助调节筒5与喷嘴第一段2固定，然后将辅助调节筒5的上端插入法兰固定盘7，使得两个立柱10分别插入两个插入孔16，直至抵触块14的顶部与插入孔16的内壁抵触，抵触块14压缩弹性件，然后逆时针转动喷嘴第一段2，将立柱10和限位帽13组成的整体卡入卡槽17的内腔，最后松动喷嘴第一段2，弹性件复位一点距离，抵触块14与卡槽17的内壁抵触，将法兰固定盘7通过螺纹孔15配合螺栓进行固定连接，安装环6与法兰固定盘7之间卡接，操作方便，提高了工作效率，在辅助调节筒5、调节导向槽8、螺钉9、导向杆11、固定孔12的相互配合可以方便喷嘴第一段2在一定范围内进行高度的调节，具体的，调节时松解螺钉9，使得螺钉9的末端从所在的固定孔12的内腔脱离，然后上下调节喷嘴第一段2的位置，导向杆11在调节导向槽8的内腔滑动，位置合适后再将螺钉9的末端拧入对应处的固定孔12的内腔，进而满足不同的需求，增加了实用性。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：

1.基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，包括管路(1)，其特征在于：所述管路(1)的上端固定连接有喷嘴第一段(2)，所述喷嘴第一段(2)的顶部固定连接有喷嘴第二段(3)，所述喷嘴第二段(3)的顶部开设有喷射孔(4)，所述喷嘴第一段(2)的外部套设有辅助调节筒(5)，所述辅助调节筒(5)内腔的两侧对称开设有调节导向槽(8)，所述喷嘴第一段(2)的左右两侧壁体对称固定连接有导向杆(11)，所述导向杆(11)背向喷嘴第一段(2)的一侧开设有固定孔(12)，所述辅助调节筒(5)下端的左右两侧对称螺纹连接有螺钉(9)；所述辅助调节筒(5)的上端外侧固定连接有安装环(6)，所述安装环(6)的顶部设置有法兰固定盘(7)，所述法兰固定盘(7)的四周对称开设有螺纹孔(15)，所述法兰固定盘(7)底部的两端对称开设有插入孔(16)，两个所述插入孔(16)的内壁对称开设有卡槽(17)，所述安装环(6)顶部的两端对称固定连接有立柱(10)，两个所述立柱(10)的顶部对称固定连接有限位帽(13)，所述限位帽(13)的顶部设置有抵触块(14)。2.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述喷嘴第一段(2)的外侧与辅助调节筒(5)的内壁贴合且滑动连接，所述导向杆(11)滑动连接于调节导向槽(8)的内腔。3.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：每个所述导向杆(11)侧面的固定孔(12)的数量至少为二十个，并且固定孔(12)沿着导向杆(11)的长度方向均匀分布。4.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述螺钉(9)与调节导向槽(8)对应，螺钉(9)的直径小于固定孔(12)的内径，并且螺钉(9)与固定孔(12)插接配合。5.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述法兰固定盘(7)活动套设于辅助调节筒(5)的上端外部，所述抵触块(14)活动插设于限位帽(13)的顶部，并且抵触块(14)的底部与限位帽(13)的内部之间设置有弹性件，抵触块(14)与卡槽(17)的内壁抵触配合。6.根据权利要求1所述的基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，其特征在于：所述卡槽(17)的截面呈“t”形，所述立柱(10)和限位帽(13)组成的整体与插入孔(16)插接后再与卡槽(17)卡接配合。

技术总结

本实用新型公开了基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，包括管路，所述管路的上端固定连接有喷嘴第一段，所述喷嘴第一段的顶部固定连接有喷嘴第二段，所述喷嘴第二段的顶部开设有喷射孔，所述喷嘴第一段的外部套设有辅助调节筒，所述辅助调节筒内腔的两侧对称开设有调节导向槽，所述喷嘴第一段的左右两侧壁体对称固定连接有导向杆，所述导向杆背向喷嘴第一段的一侧开设有固定孔，所述辅助调节筒下端的左右两侧对称螺纹连接有螺钉。该基于半导体设备的耐腐蚀气体喷嘴组件，通过设置的辅助调节筒、调节导向槽、螺钉、导向杆、固定孔的相互配合可以方便喷嘴第一段在一定范围内进行高度的调节，进而满足不同的需求，增加了实用性。增加了实用性。增加了实用性。