电镀槽体导电装置的制作方法

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1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体是涉及一种电镀槽体导电装置。

背景技术：

2.电镀是一种电化学过程，也是一种氧化还原过程，电镀的基本过程是将晶圆浸在金属盐的溶液中作为阴极，金属板作为阳极，接直流电源后，在零件上沉积出所需的镀层。
3.在新一代电镀制程(金电镀、铜电镀)中，所需电镀精密度越来越高，需电镀产品所需的镀金线越来越窄，一般电镀方式的制程良率越来越低，在高精密电镀制程从以往的垂直浸泡式逐渐改为单片平放式，但是目前的单片平放式电镀槽体阳极和阴极设计不合理，导致晶圆背面沾到电镀液，使得非电镀面也产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。
4.为此，提出一种电镀槽体导电装置。

技术实现要素：

5.本实用新型以解决背景技术中提出的问题为目的，提供了一种电镀槽体导电装置。
6.具体技术方案如下：
7.一种电镀槽体导电装置，包括：电镀槽体以及通过调节螺栓安装在所述电镀槽体槽口上部的环形压圈，还包括用于连接直流电源的导电组件，所述导电组件包括阳极电极以及阴极电极，所述阳极电极为金属环，且所述阳极电极安装在所述环形压圈的上部，所述阴极电极为圆形金属网，且所述阴极电极安装在所述电镀槽体的内部底部。
8.作为本实用新型的一种优选方案，所述导电组件还包括若干阳极电极导通点，若干所述阳极电极导通点均固定安装在所述环形压圈的上部，且若干所述阳极电极导通点均与所述阳极电极接触导通，其中：
9.所述阳极电极通过若干所述阳极电极导通点压紧在所述环形压圈的上部。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述阳极电极导通点设置有六个，六个所述阳极电极导通点呈环向等角度分布在所述环形压圈上。
11.作为本实用新型的一种优选方案，所述导电组件还包括若干阴极电极导通点，每个所述阴极电极导通点的底部均固定安装有导电片，所述导电片远离所述阴极电极导通点的一端嵌入所述电镀槽体的底壁上，其中：
12.所述阴极电极通过固定螺栓与所述导电片远离所述阴极电极导通点的一端连接，所述阴极电极通过所述导电片与所述阴极电极导通点导通。
13.作为本实用新型的一种优选方案，所述阴极电极导通点设置有三个，三个所述阴极电极导通点呈环向等角度分布在所述电镀槽体的外周。
14.作为本实用新型的一种优选方案，所述阳极电极为金属钛环，所述阴极电极为圆形金属钛网。
15.本实用新型具有以下有益效果：
16.本实用新型提供的电镀槽体导电装置主要由电镀槽体、环形压圈、导电组件组成，其中导电组件主要由阳极电极以及阴极电极组成，在使用时，将晶圆水平固定在环形压圈与电镀槽体槽口之间，阳极电极用于接通直流电正极，阴极电极用于接通直流电负极，晶圆与阳极电极接触与阳极电极形成一体，电镀液位于晶圆的底部，通过上述设置，使得晶圆的上部与电镀液接触不到，以免非电镀面也产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。
附图说明
17.图1为本实用新型实施例提供的电镀槽体导电装置的结构示意图；
18.图2为本实用新型实施例提供的电镀槽体导电装置的另一视角的结构示意图；
19.图3为本实用新型实施例提供的电镀槽体导电装置的剖视结构示意图；
20.图4为本实用新型实施例提供的电镀槽体导电装置的局部结构示意图。
21.附图中：
22.1、电镀槽体；2、环形压圈；3、调节螺栓；4、阳极电极；5、阳极电极导通点；6、阴极电极；7、阴极电极导通点；8、导电片；9、固定螺栓。
具体实施方式
23.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
24.其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
25.本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
26.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.本实用新型实施例提供的电镀槽体导电装置，如图1-图4所示，包括：电镀槽体1以及通过调节螺栓3安装在电镀槽体1槽口上部的环形压圈2，还包括用于连接直流电源的导电组件，导电组件包括阳极电极4以及阴极电极6，阳极电极4为金属环，且阳极电极4安装在环形压圈2的上部，阴极电极6为圆形金属网，且阴极电极6安装在电镀槽体1的内部底部。
28.采用上述技术方案的电镀槽体导电装置主要由电镀槽体1、环形压圈2、导电组件组成，其中导电组件主要由阳极电极4以及阴极电极6组成，在使用时，将晶圆水平固定在环形压圈2与电镀槽体1槽口之间，阳极电极4用于接通直流电正极，阴极电极6用于接通直流
电负极，晶圆与阳极电极4接触与阳极电极4形成一体，电镀液位于晶圆的底部，通过上述设置，使得晶圆的上部与电镀液接触不到，以免非电镀面也产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。
29.具体的，为了避免电镀面的电镀膜厚度能够均匀平整，在本实施例中：导电组件还包括若干阳极电极导通点5，若干阳极电极导通点5均固定安装在环形压圈2的上部，且若干阳极电极导通点5均与阳极电极4接触导通，其中：阳极电极4通过若干阳极电极导通点5压紧在环形压圈2的上部，阳极电极导通点5设置有六个，六个阳极电极导通点5呈环向等角度分布在环形压圈2上，导电组件还包括若干阴极电极导通点7，每个阴极电极导通点7的底部均固定安装有导电片8，导电片8远离阴极电极导通点7的一端嵌入电镀槽体1的底壁上，其中：阴极电极6通过固定螺栓9与导电片8远离阴极电极导通点7的一端连接，阴极电极6通过导电片8与阴极电极导通点7导通，阴极电极导通点7设置有三个，三个阴极电极导通点7呈环向等角度分布在电镀槽体1的外周，通过设置多个阴极电极导通点7以及阳极电极导通点5，可使得晶圆的底部能够形成均匀的电镀层。
30.具体的，为了保证阳极电极4以及阴极电极6的使用寿命，在本实施例中：阳极电极4为金属钛环，阴极电极6为圆形金属钛网。
31.需要说明的是，本实施例提供的电镀槽体导电装置为单片晶圆平放电镀槽所使用。
32.综上，本实施例提供的电镀槽体导电装置，具有如下优点：
33.该电镀槽体导电装置主要由电镀槽体1、环形压圈2、导电组件组成，其中导电组件主要由阳极电极4以及阴极电极6组成，在使用时，将晶圆水平固定在环形压圈2与电镀槽体1槽口之间，阳极电极4用于接通直流电正极，阴极电极6用于接通直流电负极，晶圆与阳极电极4接触与阳极电极4形成一体，电镀液位于晶圆的底部，通过上述设置，使得晶圆的上部与电镀液接触不到，以免非电镀面也产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。
34.使用时，通过调节螺栓3将环形压圈2拆掉，然后将晶圆放置在电镀槽体1槽口上部，再通过调节螺栓3将环形压圈2安装在电镀槽体1槽口上部，此时，晶圆与若干阳极电极导通点5接触与阳极电极4形成一体，阳极电极4接通直流电正极，阴极电极6接通直流电负极，通电后电镀液中的金属电镀到晶圆的底部形成均匀的电镀层。
35.以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

技术特征：

1.一种电镀槽体导电装置，包括电镀槽体(1)以及通过调节螺栓(3)安装在所述电镀槽体(1)槽口上部的环形压圈(2)：其特征在于，还包括用于连接直流电源的导电组件，所述导电组件包括阳极电极(4)以及阴极电极(6)，所述阳极电极(4)为金属环，且所述阳极电极(4)安装在所述环形压圈(2)的上部，所述阴极电极(6)为圆形金属网，且所述阴极电极(6)安装在所述电镀槽体(1)的内部底部。2.根据权利要求1所述的电镀槽体导电装置，其特征在于，所述导电组件还包括若干阳极电极导通点(5)，若干所述阳极电极导通点(5)均固定安装在所述环形压圈(2)的上部，且若干所述阳极电极导通点(5)均与所述阳极电极(4)接触导通，其中：所述阳极电极(4)通过若干所述阳极电极导通点(5)压紧在所述环形压圈(2)的上部。3.根据权利要求2所述的电镀槽体导电装置，其特征在于，所述阳极电极导通点(5)设置有六个，六个所述阳极电极导通点(5)呈环向等角度分布在所述环形压圈(2)上。4.根据权利要求1所述的电镀槽体导电装置，其特征在于，所述导电组件还包括若干阴极电极导通点(7)，每个所述阴极电极导通点(7)的底部均固定安装有导电片(8)，所述导电片(8)远离所述阴极电极导通点(7)的一端嵌入所述电镀槽体(1)的底壁上，其中：所述阴极电极(6)通过固定螺栓(9)与所述导电片(8)远离所述阴极电极导通点(7)的一端连接，所述阴极电极(6)通过所述导电片(8)与所述阴极电极导通点(7)导通。5.根据权利要求4所述的电镀槽体导电装置，其特征在于，所述阴极电极导通点(7)设置有三个，三个所述阴极电极导通点(7)呈环向等角度分布在所述电镀槽体(1)的外周。6.根据权利要求1所述的电镀槽体导电装置，其特征在于，所述阳极电极(4)为金属钛环，所述阴极电极(6)为圆形金属钛网。

技术总结

本实用新型提供了一种电镀槽体导电装置，包括：电镀槽体以及通过调节螺栓安装在电镀槽体槽口上部的环形压圈，还包括用于连接直流电源的导电组件，导电组件包括阳极电极以及阴极电极，阳极电极为金属环，且阳极电极安装在环形压圈的上部，阴极电极为圆形金属网，且阴极电极安装在电镀槽体的内部底部。本实用新型提供的电镀槽体导电装置，在使用时，将晶圆水平固定在环形压圈与电镀槽体槽口之间，阳极电极用于接通直流电正极，阴极电极用于接通直流电负极，晶圆与阳极电极接触与阳极电极形成一体，电镀液位于晶圆的底部，通过上述设置，使得晶圆的上部与电镀液接触不到，以免非电镀面也产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。产生电镀层导致浪费且影响电镀厚度。