一种硅片插片机构的制作方法

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1.本实用新型属于硅片制备设备技术领域，具体涉及一种硅片插片机构。

背景技术：

2.在硅片制备工序中，需要对硅片进行插片，目前对硅片进行插片多由人工手动完成，耗费劳动力，效率较低，且误差较大，人工成本较高。
3.因此，基于以上需求，本实用新型提供一种硅片插片机构，能够实现片篮自动插片，且可以实现空蓝满篮取放、满篮暂存等功能，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省了人工成本，实现了自动化、信息化、智能化。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为解决上述背景技术中提出的目前对硅片进行插片多由人工手动完成，耗费劳动力，效率较低，且误差较大，人工成本较高的问题，提供了一种硅片插片机构，能够实现片篮自动插片，且可以实现空蓝满篮取放、满篮暂存等功能，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省了人工成本，实现了自动化、信息化、智能化。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
6.一种硅片插片机构，包括：
7.插片底板；
8.片篮，所述片篮可被放置于所述插片底板上并进行插片和循环操作；
9.插片机构，所述插片机构设置于所述插片底板一侧，用于对所述片篮进行插片操作；
10.片篮抓取机构，所述片篮抓取机构设置于所述插片底板上方，用于对所述片篮进行抓取和移动；
11.插片检测机构，所述插片检测机构设置于所述插片底板上，位于所述片篮放置位置的相邻位置，用于对所述片篮插片情况进行检测。
12.进一步地，所述插片底板包括：
13.插片区和循环区，所述插片区用于放置进行插片操作的所述片篮，所述循环区用于放置插片结束的所述片篮和待插片的所述片篮，所述插片区和所述循环区均设置有用于容纳所述片篮的片篮位，每个所述片篮位可以容纳一个所述片篮。
14.进一步地，还包括第一传感器，所述第一传感器设置于所述片篮位中，用于检测所述片篮位上是否存在所述片篮以及所述片篮是否满载，每个所述片篮位中设置有一个所述第一传感器。
15.进一步地，所述片篮抓取机构包括：
16.三轴机械手，所述三轴机械手由一根平行于所述插片底板长边的横轴和两根与之连接的相互平行的竖轴构成，所述横轴和所述竖轴均可以沿上下左右前后三方向移动，所述三轴机械手下端固定设置于所述插片底板上。
17.进一步地，还包括伺服电机和减速电机，每个所述横轴或所述竖轴均包括一个所述伺服电机和所述减速电机，所述伺服电机和所述减速电机用于控制所述横轴或所述竖轴的运转和移动。
18.进一步地，还包括夹爪，所述夹爪设置于所述竖轴下端，所述夹爪用于夹取所述片篮。
19.进一步地，所述插片检测机构包括：
20.单轴机械手，所述单轴机械手上设置有第二传感器，所述第二传感器用于检测所述硅片状态进行检测并反馈，所述单轴机械手可以带动所述第二传感器上下移动以进行检测。
21.进一步地，所述插片机构包括：
22.四轴机器人，所述四轴机器人用于对所述片篮进行插片操作。
23.进一步地，每个所述片篮可放置硅片的最大数量为25片。
24.与现有技术相比，本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型设计的一种硅片插片机构，能够实现片篮自动插片，且可以实现空蓝满篮取放、满篮暂存等功能，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省了人工成本，实现了自动化、信息化、智能化。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是本实用新型一实施例的硅片插片机构的结构示意图；
27.图2是本实用新型一实施例的硅片插片机构的三轴机械手的结构示意图；
28.图3是本实用新型一实施例的硅片插片机构的单轴机械手的结构示意图。
29.图中：
30.1-插片底板，2-片篮，11-插片区，12-循环区，13-片篮位，14-第一传感器，3-三轴机械手，31-横轴，32-竖轴，33-伺服电机，34-减速电机，35-夹爪，4-单轴机械手，41-第二传感器，5-四轴机器人。
具体实施方式
31.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
32.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，均为相对位置，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
33.请参见附图1-附图3，在本实用新型实施例中，本实用新型提供了一种硅片插片机构，包括：
34.插片底板1；
35.片篮2，片篮2设置于插片底板1上并进行插片和循环操作；
36.插片机构，插片机构设置于插片底板1一侧，用于对片篮2进行插片操作；
37.片篮抓取机构，片篮抓取机构设置于插片底板1上方，用于对片篮2进行抓取和移动；
38.插片检测机构，插片检测机构设置于插片底板1上，位于片篮2放置位置的相邻位置，用于对片篮2插片情况进行检测。
39.具体地，插片底板1包括：
40.插片区11和循环区12，插片区11用于放置进行插片操作的片篮2，循环区12用于放置插片结束的片篮2和待插片的片篮2，插片区11和循环区12均设置有用于容纳片篮2的片篮位13，每个片篮位13可以容纳一个片篮2。
41.具体地，还包括第一传感器14，第一传感器14设置于片篮位13中，用于检测所片篮位13上是否存在片篮2以及片篮2是否满载，每个片篮位13中设置有一个第一传感器14。
42.具体地，片篮抓取机构包括：
43.三轴机械手3，三轴机械手3由一根平行于插片底板1长边的横轴31和两根与之连接的相互平行的竖轴32构成，横轴31和竖轴32均可以沿上下左右前后三方向移动，三轴机械手3下端固定设置于插片底板1上。
44.具体地，还包括伺服电机33和减速电机34，每个横轴31或竖轴32均包括一个伺服电机33和减速电机34，伺服电机33和减速电机34用于控制横轴31或竖轴32的运转和移动。
45.具体地，还包括夹爪35，夹爪35设置于竖轴32下端，夹爪35用于夹取片篮2。具体地，一个竖轴32下端可以设置多个夹爪35。
46.具体地，插片检测机构包括：
47.单轴机械手4，单轴机械手4上设置有第二传感器41，第二传感器41用于检测硅片状态进行检测并反馈，单轴机械手4可以带动第二传感器41上下移动以进行检测。具体地，单轴机械手4上也同样具备伺服电机和减速电机。
48.具体地，插片机构包括：四轴机器人5，四轴机器人5用于对片篮2进行插片操作。
49.具体地，每个片篮2可放置硅片的最大数量为25片。
50.在使用时，以3个片篮2为例，首先人工放置3个空的片篮2至循环区12的片篮位13上，然后启动此插片机构，第一传感器14检测到片篮位13上有放置片篮2并进行反馈，三轴机械手3开始移动，夹爪35对片篮2进行抓取，横轴31和竖轴32进行移动，将片篮2放置于插片区11的片篮位13上，伺服电机33和减速电机34用于控制横轴31和竖轴32的移动和转动。放置后，单轴机械手4带动第二传感器41对插片区11内的片篮2进行检测确认后，四轴机器人5抓取硅片移动到片篮位13，进行插片操作。一个片篮2中最多可放置25片硅片。具体地，在每次进行插片操作前，单轴机械手4都需要进行检测确认，防止出现叠片、滑出等情况影响插片质量，该次插片完成后，三轴机械手3将满载的片篮2抓取并放置在循环区12，当3个片篮2都满载后，第一传感器14发出反馈，由人工取走满载的片篮2。
51.具体地，在循环区12中，当初始的片篮3被取走进行插片操作后，三轴机械手3即抓
取新的空片篮3放置在循环区12中，在插片区11中的初始的片篮3插片完成后，被抓取放置在循环区12中等待取走时，新的空片篮3被抓取放置在插片区11中，继续进行插片操作。
52.本实用新型产生的优点和积极效果是：
53.本实用新型设计的一种硅片插片机构，能够实现片篮自动插片，且可以实现空蓝满篮取放、满篮暂存等功能，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省了人工成本，实现了自动化、信息化、智能化。
54.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

技术特征：

1.一种硅片插片机构，其特征在于，包括：插片底板；片篮，所述片篮可被放置于所述插片底板上并进行插片和循环操作；插片机构，所述插片机构设置于所述插片底板一侧，用于对所述片篮进行插片操作；片篮抓取机构，所述片篮抓取机构设置于所述插片底板上方，用于对所述片篮进行抓取和移动；插片检测机构，所述插片检测机构设置于所述插片底板上，位于所述片篮放置位置的相邻位置，用于对所述片篮插片情况进行检测。2.根据权利要求1所述的一种硅片插片机构，其特征在于，所述插片底板包括：插片区和循环区，所述插片区用于放置进行插片操作的所述片篮，所述循环区用于放置插片结束的所述片篮和待插片的所述片篮，所述插片区和所述循环区均设置有用于容纳所述片篮的片篮位，每个所述片篮位可以容纳一个所述片篮。3.根据权利要求2所述的一种硅片插片机构，其特征在于：还包括第一传感器，所述第一传感器设置于所述片篮位中，用于检测所述片篮位上是否存在所述片篮以及所述片篮是否满载，每个所述片篮位中设置有一个所述第一传感器。4.根据权利要求1-3任一所述的一种硅片插片机构，其特征在于，所述片篮抓取机构包括：三轴机械手，所述三轴机械手由一根平行于所述插片底板长边的横轴和两根与之连接的相互平行的竖轴构成，所述横轴和所述竖轴均可以沿上下左右前后三方向移动，所述三轴机械手下端固定设置于所述插片底板上。5.根据权利要求4所述的一种硅片插片机构，其特征在于：还包括伺服电机和减速电机，每个所述横轴或所述竖轴均包括一个所述伺服电机和所述减速电机，所述伺服电机和所述减速电机用于控制所述横轴或所述竖轴的运转和移动。6.根据权利要求5所述的一种硅片插片机构，其特征在于：还包括夹爪，所述夹爪设置于所述竖轴下端，所述夹爪用于夹取所述片篮。7.根据权利要求1-3，或5-6任一所述的一种硅片插片机构，其特征在于，所述插片检测机构包括：单轴机械手，所述单轴机械手上设置有第二传感器，所述第二传感器用于检测所述硅片状态进行检测并反馈，所述单轴机械手可以带动所述第二传感器上下移动以进行检测。8.根据权利要求7所述的一种硅片插片机构，其特征在于，所述插片机构包括：四轴机器人，所述四轴机器人用于对所述片篮进行插片操作。9.根据权利要求8所述的一种硅片插片机构，其特征在于：每个所述片篮可放置硅片的最大数量为25片。

技术总结

本实用新型提供一种硅片插片机构，包括插片底板；片篮，可被放置于插片底板上并进行插片和循环操作；插片机构，设置于插片底板一侧，用于对片篮进行插片操作；片篮抓取机构，设置于插片底板上方，用于对片篮进行抓取和移动；插片检测机构，设置于插片底板上，位于片篮放置位置的相邻位置，用于对片篮插片情况进行检测。本实用新型的有益效果是有效解决目前对硅片进行插片多由人工手动完成，耗费劳动力，效率较低，且误差较大，人工成本较高的问题，提供了一种硅片插片机构，能够实现片篮自动插片，且可以实现空蓝满篮取放、满篮暂存等功能，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省了人工成本，实现了自动化、信息化、智能化。智能化。智能化。