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时间:2023-10-17 热度:13℃
一种多自由度微传感器模块及其封装[发明专利]
专利名称:一种多自由度微传感器模块及其封装专利类型:发明专利发明人:刘胜,罗璋,曹钢,徐春林,胡畅,王小平道生液申请号:CN201310044773.5申请日:20130204桥架支撑架公开号:CN103968886A公开日:20140806步进式开水机专利内容由知识产权出版社提供共沸精馏喷香器摘要:一种多自由度微传感器模块及其封装,包括:多自由度MEMS加速度计、多自由度MEMS 陀螺仪、多自由
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