CN201210138098.8，一种高钝化异质结单晶硅薄膜太阳能电池，本发明为一种可优化提升单晶硅太阳电池转化效率的新颖发明，利用非晶硅在单晶硅上面的沈积成膜搭配，形成异质结结构，而非晶硅与透明导电膜沈积的顺序影响硅片表面钝化程度，此将直接影响器件的光电转换效率，而本发明即为提出此沈积顺序以形成最佳的单晶硅表面钝化作用以及减少表面污染的影响，进而达到高钝化的异质结单晶硅薄膜。